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用異質(zhì)外延、在代用襯底材料上生長的碲鎘汞光伏探測器陣列的最新進展

來源:論文學(xué)術(shù)網(wǎng)
時間:2024-08-19 03:50:59
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用異質(zhì)外延、在代用襯底材料上生長的碲鎘汞光伏探測器陣列的最新進展【摘要】:正 一、概述最近幾年,Rockwell國際科學(xué)中心研究一種代用襯底材料,該材料避免了塊狀、單晶CdTe所存

【摘要】:正 一、概述最近幾年,Rockwell國際科學(xué)中心研究一種代用襯底材料,該材料避免了塊狀、單晶CdTe所存在的缺點,而且不降低在此襯底上生長的外延HgCdTe的質(zhì)量。這種襯底是由用適當工藝制備的單晶藍寶石薄片(其直徑典型值為2″)、以及其上液相外延生長的碲化鎘薄層(10~20μm)構(gòu)成,該藍寶石薄片經(jīng)特殊的初始表面處理。這種技術(shù)是一種外延用的CdTe代用物(PACE)技術(shù),適合用各種外延技術(shù)生 【關(guān)鍵詞】襯底材料 液相外延生長 單晶藍寶石 焦平面陣列 工藝制備 外延技術(shù) 中波紅外 表面處理 碲鎘汞光伏探測器 代用物
【正文快照】: 一、概述 緞近幾年,Rockwell國際科學(xué)中心研究一種代用襯底材料,該材料避免了塊狀、單晶CdTe所存在的缺點,而且不降低在此襯底上生長的外延HgCdTe的質(zhì)量。這種襯底是由用適當工藝制備的單晶藍寶石薄片(其直徑典型值為2“)、以及其上液相外延生長的啼化鍋薄層(10~20協(xié)m)構(gòu)成,

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