碲鎘汞光伏探測(cè)器機(jī)理研究

【摘要】：正 碲鎘汞可以制成光伏型器件和光導(dǎo)型器件。光導(dǎo)器件結(jié)構(gòu)較簡單,易于制造,但功耗大,響應(yīng)速度較慢,為第一代紅外探測(cè)器件。目前,我所實(shí)用的長波光子探測(cè)器就是光導(dǎo)型的。光伏器件較之光導(dǎo)器件功耗小,響應(yīng)快。光伏型碲鎘汞器件分為n-on-p型和p-on-n型兩種。對(duì)長波波段,兩者相比,后者比前者有較大的R_0A,但由于注入損傷為n型,而且淺結(jié)時(shí)光電流的輸出主要靠襯底,p型時(shí)少子擴(kuò)散長度大,工藝也較簡單,因而光伏器件以n-on-p型為多,已經(jīng)制成(1～)3μm、(3～5)μm的p-n結(jié)光電二極管。除非特別指明,以下我們提到 【作者單位】： 中國科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所 中國科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所
【關(guān)鍵詞】： 碲鎘汞 光伏探測(cè)器 光伏器件 離子注入 深能級(jí) 光二極管 隧道電流 帶間隧道 暗電流 激光輻照
【分類號(hào)】：TP21
【正文快照】： 碲鎘汞可以制成光伏型器件和光導(dǎo)型器件。光導(dǎo)器件結(jié)構(gòu)較簡單,易于制造,但功耗大,響應(yīng)速度較慢,為第一代紅外探測(cè)器件。目前,我所實(shí)用的長波光子探測(cè)器就是光導(dǎo)型的。光伏器件較之光導(dǎo)器件功耗小,響應(yīng)快。光伏型碲鎘汞器件分為n—on—p型和p—on—n型兩種。對(duì)長波波段,兩者相

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