低能離子束成結(jié)制作10．6μm碲鎘汞光伏探測器

【摘要】：制作光伏型碲鎘汞（ＭＣＴ）探測器ＰＮ結(jié)常用的方法是離子注入法。近幾年的研究發(fā)現(xiàn)，低能離子束成結(jié)更適合制作長波光伏型ＭＣＴ探測器。本文報導(dǎo)了低能離子束成結(jié)的１０．６μｍ光伏型碲鎘汞探測器的性能，襯底為載流子濃度在０．８～６×１０￣（１６）ｃｍ￣（－３）范圍的Ｐ型ＭＣＴ材料，離子束能量范圍為１００～６００ｅＶ，通過離子束處理，可在Ｐ型ＭＣＴ表面形成一薄層較低載流子濃度的Ｎ型區(qū)，而制成ＮＰ結(jié)，利用該技術(shù)成結(jié)制作的大面積、四象限１０．６μｍＭＣＴ探測器，在－２０ｍＶ的偏壓，８０Ｋ的溫度下，器件的峰值響應(yīng)率和峰值分別為３２４．５Ｖ／Ｗ和１．１３×１０￣（１０）ｃｍＨｚ￣（１／２）／Ｗ，每元光敏面積為６． 【作者單位】： 航天工業(yè)總公司第三研究院八三五八所
【關(guān)鍵詞】： 碲鎘汞 離子束 光伏探測器
【分類號】：TN215.04
【正文快照】： 低能離子束成結(jié)制作１０．６μｍ碲鎘汞光伏探測器翟文生（航天工業(yè)總公司第三研究院八三五八所天津３００１９２）文摘：制作光伏型碲鎘汞（ＭＣＴ）探測器ＰＮ結(jié)常用的方法是離子注入法。近幾年的研究發(fā)現(xiàn)，低能離子束成結(jié)更適合制作長波光伏型ＭＣＴ探測器。本文報導(dǎo)了低

您可以在本站搜索以下學(xué)術(shù)論文文獻(xiàn)來了解更多相關(guān)內(nèi)容

離子束濺射制作光譜選擇性PbS薄膜    沈關(guān)濤

第一屆全國電子束離子束光子束學(xué)術(shù)年會論文集即將發(fā)行    方偉林;

離子束曝光的無顯影刻蝕    王培大,輔階平

會議簡訊    吳正明 ,方偉林 ,何喜冠 ,吳健昌

第二屆全國電子束離子束光子束(三束)及超微細(xì)工藝學(xué)術(shù)年會在江蘇常州舉行    方偉林;

離子束工藝    蒲生健次 ,難波進(jìn) ,王文澄

應(yīng)用離子束刻蝕技術(shù)提高石英諧振器基頻的實(shí)驗研究    雷震寰,遲洪廣,王宜華

加工用考夫曼寬束離子源技術(shù)概述    尤大緯 ,孟憲光

碲鎘汞MOS積壘層的二維電子氣研究    趙文琴

富碲碲鎘汞液線溫度的測量——富碲碲鎘汞相圖研究之一    關(guān)振東;賴德生;陳紀(jì)安;余惠玲;

P型碲鎘汞(HgCdTe)中的電流機(jī)理    黃河;

C~(+6)重離子輻照對枸杞萌發(fā)種子DNA合成的影響    汪麗虹;楊漢民;程金華;

N~+離子束輻照對細(xì)胞骨架和核作用的研究    顧月華;

N~+離子束和α射線輻照引起脂質(zhì)過氧化產(chǎn)物及調(diào)節(jié)酶活性變化的比較研究    顧月華;羅江虹;羅建平;陳為鈞;

多功能離子束醫(yī)用材料表面改性裝置    鄭保民;況園珠;王宇;李曉謙;張海文;顧漢卿;趙景麗;

汽輪機(jī)葉片專用的離子束復(fù)合真空鍍膜機(jī)的研制    朱啟良;汪亮明;白玉蘭;王錦輝;過騏千;

離子束薄膜合成及其應(yīng)用    柳襄懷;鄭志宏;王曦;鄒世昌;

離子束濺射薄膜壓力傳感器的動態(tài)特性    常增坡;唐柏森;

真空空心陰極離子束釬焊工藝探索研究    趙青;劉志華;李德清;

離子束表面復(fù)合改性技術(shù)在汽輪機(jī)葉片上的應(yīng)用研究    汪亮明;朱啟良;過騏千;白玉蘭;王錦輝;

開辟放射性物理研究新領(lǐng)域    張全有

光電子技術(shù)將在新世紀(jì)長足進(jìn)步    記者 徐彬

離子束選育AA高產(chǎn)菌實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化    程艷 文霞平

21世紀(jì)電子工藝裝備發(fā)展方向    李海泉

做中國換熱器產(chǎn)業(yè)的旗艦    何東柏 宮成

高產(chǎn)菌發(fā)酵技術(shù)實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化    記者 陳敬農(nóng) 通訊員 程艷

上海新增7位工程院院士    本報記者 張詠晴 陳青 陶洪光 倪國和 姜澎

離子束生物技術(shù)改良微生物菌種    中國科學(xué)院等離子體所離子束生物工程中心博士后 宋道軍

用途廣泛的離子注入技術(shù)    黃中

產(chǎn)學(xué)研結(jié)合促成果轉(zhuǎn)化    本報記者 盧家興 通訊員 夏敏

改善熱解碳人工心臟瓣膜材料血液相容性的研究    王向暉

氧化釩紅外敏感膜和非致冷焦平面成像陣列研究    袁寧一

碳氮化合物合成方法及其晶體結(jié)構(gòu)的研究    于棟利

離子束介導(dǎo)外源全DNA轉(zhuǎn)化擬南芥菜的若干問題研究    卞坡

離子束誘變和介導(dǎo)轉(zhuǎn)化在擬南芥中的應(yīng)用    谷運(yùn)紅

強(qiáng)流脈沖離子束特性及其燒蝕作用的實(shí)驗研究    朱小鵬

離子束處理鋁合金的腐蝕和疲勞性能    李玉蘭

有支撐鈀釔合金滲氫膜制備技術(shù)及表面吸附行為理論研究    王和義

AIN、ta-C薄膜制備及其在SOI技術(shù)中的應(yīng)用研究    宋朝瑞

鈷鎳與鍺硅薄膜的固相反應(yīng)及肖特基接觸特性研究    王光偉

寬禁帶半導(dǎo)體材料—AIN薄膜的離子束合成與表征    程莉莉

GCr15塊規(guī)用鋼三束表面硬化處理研究    米少波

摻Er光波導(dǎo)Al_2O_3薄膜的微觀狀態(tài)研究    趙文軍

摻鉺光波導(dǎo)薄膜的制備工藝及其特性研究    王平生

Ti-Ni貯氫薄膜的電化學(xué)性能研究及測試系統(tǒng)設(shè)計    崔巖

離子束誘變和介導(dǎo)轉(zhuǎn)外源DNA小麥初步研究    王衛(wèi)東

碲鎘汞環(huán)孔P-N結(jié)理論分析與測試    邢素霞

鍍膜機(jī)智能膜厚控制系統(tǒng)的研究    楊波

軟X射線多層膜膜厚分布均勻性控制研究    林炳

離子束濺射法制備C-N薄膜的研究    柳翠