甲烷源離子束沉積類金剛石研究

【摘要】：在低溫（＜１００℃）、低壓（３×１０－３Ｐａ）下，以ＣＨ４／Ａｒ混合氣體形成的單離子束對(duì)低碳鋼表面轟擊，結(jié)果鋼表面生成厚度為９０～１４０ｎｍ的薄膜，由納米硬度計(jì)測(cè)出硬度為２１～２９ＭＰａ．作ＳＥＭ分析，在放大１８０００倍下仍觀察不到薄膜晶界；ＡＥＳ分析表明其主要成分為碳；復(fù)由激光拉曼譜分析證實(shí)，這是一種非晶態(tài)的同時(shí)含ｓｐ３和ｓｐ２鍵的類金剛石薄膜． 【作者單位】： 煤炭科學(xué)研究總院北京建井研究所
【關(guān)鍵詞】： 離子束沉積 類金剛石 甲烷源
【基金】：96'國(guó)家留學(xué)基金
【分類號(hào)】：TG156.8
【正文快照】： 類金剛石（ＤｉａｍｏｎｄＬｉｋｅＣａｒｂｏｎ，簡(jiǎn)稱ＤＬＣ）這一術(shù)語(yǔ)是Ａｉｓｅｎｂｅｒｇ在１９７３年提出的［１］，指由金剛石和石墨微晶構(gòu)成的一類混合體材料，其性能按金剛石與石墨微晶的組成比（ｓｐ３／ｓｐ２）不同，在較寬的范圍內(nèi)變動(dòng)．根據(jù)這一特點(diǎn)，可通過

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