甲烷流量對高摻硼金剛石多晶薄膜形態(tài)生長的影響

【摘要】：在不同的甲烷流量下,用熱絲化學(xué)氣相沉積方法(HFCVD)在N型(100)單晶硅片上制備了摻硼金剛石薄膜.用掃描電子顯微鏡(SEM)和拉曼光譜(Raman)對薄膜檢測的結(jié)果表明,隨著甲烷流量的增加,摻硼金剛石薄膜的二次形核增加,晶粒尺寸減小,晶界變得模糊,結(jié)晶性下降,非金剛石相增多,過高的甲烷流量導(dǎo)致?lián)脚鸾饎偸∧さ那驙钌L. 【作者單位】： 大連理工大學(xué)物理與光電工程學(xué)院;大連理工大學(xué)三束材料表面改性實(shí)驗(yàn)室;大連理工大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 摻硼金剛石 熱絲CVD 掃描電子顯微鏡 拉曼光譜
【分類號】：O484.42
【正文快照】： 純的金剛石薄膜是價(jià)帶被電子完全占據(jù)而導(dǎo)帶完全沒有被占據(jù)的禁帶寬度達(dá)到5.5eV的寬禁帶半導(dǎo)體,具有高的電子與空穴遷移率.通過摻硼,金剛石薄膜轉(zhuǎn)變?yōu)镻型半導(dǎo)體,硼受主原子電離能為0.37eV[1];摻硼濃度達(dá)到一定量時(shí),金剛石薄膜從半導(dǎo)體性質(zhì)轉(zhuǎn)變?yōu)轭惤饘傩再|(zhì),甚至在低溫下還出

您可以在本站搜索以下學(xué)術(shù)論文文獻(xiàn)來了解更多相關(guān)內(nèi)容

激光拉曼光譜在CVD金剛石薄膜質(zhì)量表征中的應(yīng)用    匡同春,劉正義

用鍍有鈦過渡層的鉬襯底制備無裂紋自支撐金剛石膜    李浩;李成明;呂反修;唐偉忠;陳廣超;鮑學(xué)進(jìn);劉政;

采用DC Arc Plasma JetCVD方法沉積微/納米復(fù)合自支撐金剛石膜    戴風(fēng)偉;陳廣超;蘭昊;J.Askari;宋建華;李成明;佟玉梅;李彬;黑立富;呂反修;

金剛石膜成分、微結(jié)構(gòu)和力學(xué)性能的表征    彭仕魁,匡同春 ,成曉玲,白曉軍

EACVD金剛石膜設(shè)備的控制技術(shù)及實(shí)驗(yàn)研究    朱胤

山東蒙陰褐色金剛石的顯微塑性變形特征研究    李海波

基于人工神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的水質(zhì)監(jiān)測拉曼光譜系統(tǒng)的研究    王保存

山東蒙陰褐色金剛石的顏色與晶格缺陷關(guān)系研究    武改朝

熱絲CVD法制備a-Si_(1-x)C_x薄膜的光電性能研究    程彬;沈鴻烈;吳天如;丁滔;肖少文;陸婷;

    

    

    

    

    

    

    

    

    

不同重力取向?qū)饎偸∧どL的影響    楊潔;申彩霞;劉旺盛;王成新;劉洪武;

高氣壓直流等離子體放電特性和材料應(yīng)用研究    丁芳;鄭仕健;湯中亮;倪天靈;柯博;朱曉東;

摻硼金剛石薄膜表面的氨基終端修飾的研究    安云玲

氧化鋁襯底上利用金剛石納米粉引晶方法合成的高摻雜金剛石薄膜的特性研究    楊傳徑

殼聚糖修飾摻硼金剛石薄膜電極測定銅離子    多思

BDD/Ti復(fù)合膜電極的制備工藝研究    馬明