甲烷濃度對MPCVD金剛石膜色度的影響

【摘要】：運用自行設(shè)計的直接耦合石英管微波等離子體化學氣相沉積(microwave plasmachemical vapor deposition,MPCVD)裝置,以氫氣和甲烷為反應(yīng)氣體,沉積出八個金剛石膜樣品。研究了甲烷濃度對所沉積金剛石膜色度的影響。結(jié)果顯示隨著甲烷濃度的升高,飽和純度和色純度逐漸升高,甲烷濃度達到5.863%時,飽和純度和色度純度達到最大,分別為8.5%和9.5%,之后隨著CH_4濃度的升高飽和純度和色純度開始下降。 【作者單位】： 廣州大學物理與電子工程學院;
【關(guān)鍵詞】： 色度學 金剛石膜 飽和純度 色度純度
【基金】：廣州市屬高校科技計劃資助項目(62003)
【分類號】：O432.3
【正文快照】： 1引言化學氣相沉積(chemieal vapor deposition，CVI〕)金剛石膜具有許多優(yōu)異的力學、電學、熱學、聲學和光學等性質(zhì)，可與天然的金剛石膜相媲美仁’，2〕，在高技術(shù)領(lǐng)域，具有十分廣闊的應(yīng)用前景仁3一5〕。因此，引起國內(nèi)外學者的廣泛興趣，成為目前國內(nèi)外的研究熱點之一，

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