甲烷濃度對批量生產(chǎn)金剛石涂層刀片的影響

【摘要】：采用微波等離子體CVD(MWCVD)法小批量地生產(chǎn)了金剛石涂層刀片,在金剛石薄膜沉積的過程中,研究了碳源濃度對沉積金剛石膜的均勻性的影響。用掃描電子顯微鏡(SEM)和激光拉曼光譜(Raman)對薄膜的表面形貌和質(zhì)量進行了表征。結(jié)果表明較低的低甲烷濃度適合金剛石涂層刀片的批量生產(chǎn)。 【作者單位】： 武漢工程大學(xué)湖北省等離子體化學(xué)與新材料重點實驗室;
【關(guān)鍵詞】： 金剛石涂層 硬質(zhì)合金刀片 微波等離子體化學(xué)氣相沉積 甲烷濃度
【基金】：湖北省高等學(xué)校優(yōu)秀中青年科技創(chuàng)新團隊資助項目(2004) 湖北省教育廳Q20081505項目 武漢工程大學(xué)綠色化工過程省部共建教育部重點實驗室2008年度開放基金RGCT200801 武漢工程大學(xué)第三屆大學(xué)生校長基金 武漢工程大學(xué)研究生教育創(chuàng)新基金對本研究的支持
【分類號】：TG711
【正文快照】： 金剛石具有許多優(yōu)異的性能,如已知材料中最高的硬度、低摩擦系數(shù)、高導(dǎo)熱率、高的抗熱沖擊性及高彈性模量,是刀具材料的理想涂層材料[1]。天然金剛石及高溫高壓人工合成金剛石因其粒狀形狀及昂貴的價格限制了其應(yīng)用范圍。CVD法合成金剛石薄膜因其薄膜狀形態(tài),擴展了其應(yīng)用范圍

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