甲烷濃度對金剛石薄膜(100)織構生長的影響

【摘要】：以H2和CH4的混合氣體為氣源,用微波等離子體輔助化學氣相沉積法(MPECVD)在1 cm×1 cm S i(100)基體上沉積了金剛石薄膜。研究了不同的甲烷濃度對金剛石薄膜(100)織構生長趨勢的影響。分別采用掃描電子顯微鏡(SEM),Ram an光譜對金剛石膜的表面形貌、質量進行了分析。結果表明,當基體溫度為750℃,氣壓為4.8×103Pa,甲烷濃度為1.4%時,薄膜表面為(100)織構。 【作者單位】： 湖北省等離子體化學與新材料重點實驗室 湖北省等離子體化學與新材料重點實驗室 湖北省等離子體化學與新材料重點實驗室 湖北省等離子體化學與新材料重點實驗室
【關鍵詞】： 微波等離子體輔助化學氣相沉積 金剛石薄膜 ()織構
【基金】：湖北省科技攻關計劃項目(2002AA105A02) 湖北省高等學校優(yōu)秀中青年科技創(chuàng)新團隊資助計劃項目
【分類號】：TB383.2
【正文快照】： 金剛石眾多的優(yōu)異性能使其蒙上了一層絢麗而神秘的色彩。它在熱、電、聲、光等方面的應用價值激起了人們強烈的研究興趣。高質量的金剛石薄膜在光、電領域存在著巨大的潛在應用價值,這是因為金剛石薄膜具有如下優(yōu)異性能:寬的帶隙,缺乏紅外激活振動功能;在很大的波長范圍上為

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