InSb光伏多元紅外探測器的電極制備

【摘要】：對于半導體器件來說,金屬電極的制備工藝是必不可少的。而組件較之單元尤為重要。其電極質量的優(yōu)劣,直接關系到器件性能是否能充分發(fā)揮。然而,電極質量的優(yōu)劣,又是與電極材料的選擇和電極的制備工藝密切相關。本文主要論述了InSb光伏多元紅外探測器件的電極材料選擇和電極制備工藝。 【作者單位】： 昆明物理研究所
【關鍵詞】： 電極材料 材料選擇 密切相關 真空室 加熱溫度 抗氧化 加熱源 潔凈度 濺射 導電性能
【正文快照】： 二、電極材料的選擇 7)便于引線的鍵合(超聲或熱壓)。 表1給出了部分常作為電極材料的金屬特性。 對于一般的半導體,當不考慮其表面態(tài)的影響時,金屬一半導體接觸時所形成的勢壘高度完全取決于所選用的金屬和半導體材料,即中.:二中,。一中:,其中中.為所用金屬的功函數(shù),中。為

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