半導體車間背后的環(huán)境問題

半導體行業(yè)的制造車間處處充滿危機，特別是一些看不見的有毒氣體或廢液廢水。本文也羅列一些自己所見所感，大家一起保護自己、保護環(huán)境。

以前也做過半導體產(chǎn)線的危廢處理方案，廢水、廢棄、廢固。廢固一般都好辦，市面上很多做回收的公司。

最要是廢水和廢氣。半導體行業(yè)本身會生產(chǎn)物質(zhì)垃圾，污染毋庸置疑，并且其污染程度也不容小覷。

隨便說一個光刻工藝，光刻膠里面含的組分都是有毒的，只不過毒性高低的區(qū)別。HMDS更是可以致癌的物質(zhì)，如果不是必須，建議大家盡量別碰。實在要用HMDS也需要購買專業(yè)的自動化設備，密閉艙體和真空抽換氣裝置。

對于光刻膠，顯影液這些就必須回收，交有專業(yè)的公司做危廢回收。甚至有的公司連廢水都不能直接排到污水管道，需要第三方拉走。

半導體生產(chǎn)過程有清洗工藝、鍍膜工藝、離子注入工藝、光刻、腐蝕刻蝕、金屬化等工藝。

在生產(chǎn)過程中都會產(chǎn)生廢氣，包含酸性、堿性、有機等氣體，需要根據(jù)各個特點做洗滌塔。一般三廢的處理方案可以參考如下表：

各個地方對廢水和廢氣的排放標準不同，需準守當?shù)氐恼?。比如對江蘇太湖地區(qū)。

廢水必須在廠區(qū)內(nèi)處理完畢之后再分類排放或回收

  事實上，對于半導體行業(yè)產(chǎn)生的大量廢水，如果不能及時加以處理，不僅會破壞社會生態(tài)環(huán)境，也會直接威脅到人類的生命健康安全。半導體行業(yè)廢水中的含氟廢水如果直接進行排放，并不小心被植物攝入、動物攝入，甚至慢慢進入到人體當中，將會危害人類身體健康，引發(fā)一系列疾病。如果直接將含氨廢水進行排放，最明顯的表現(xiàn)便是大量藻類的繁殖，促使水體開始形成嚴重的富營養(yǎng)化問題，甚至產(chǎn)生具有嚴重致癌性的亞硝胺。如果將含銅廢水直接排放到環(huán)境中，則會直接破壞水質(zhì)，人體大量攝入銅元素，則會相應引發(fā)嚴重的肝病。

含氟廢水處理工藝

含氟廢水處理工藝含氟廢水主要由芯片生產(chǎn)期間的刻蝕工藝產(chǎn)生的，刻蝕工藝生產(chǎn)需要用到氫氟酸與氟化銨等物質(zhì)。針對含氟廢水的有效處理，企業(yè)一般選擇化學沉淀法、離子交換法等方法，比如對氟化物濃度在 747mg／L 的含氟廢水采取化學沉淀法，將廢水的酸堿值調(diào)整到 7．5 左右，在廢水中加入氯化鈣溶液、PAM 以及 PAC 等物質(zhì)，使水中氟化物的濃度降低到 40mg／L。由此可見，采用混凝沉淀處理方法能夠有效處理含氟濃度在 500mg／L 左右的廢水，去除率可以達到 90％以上。

CMP 廢水處理工藝

半導體廠芯片生產(chǎn)期間需要用到化學機械研磨的工藝方式 。研磨劑是一種混合液，其中包含磨料和腐蝕劑等成分，研磨之后需要使用純水將硅片表面沖洗干凈，確保表面不會有殘留的研磨液。CMP 廢水中含有粒徑在 70nm 以上的顆粒懸浮物、金屬氧化物以及不同化學試劑，水中的顆粒懸浮物濃度比較高，穩(wěn)定性較強，難以有效去除。建議按照研磨表面的實際類型，將 CMP 廢水詳細劃分為氧化層與金屬層研磨廢水兩種，隨后再用電化學法或者混凝法處理并回收廢水。

 統(tǒng)計一下車間內(nèi)常見幾種危險物。

       原文標題 : 半導體車間背后的環(huán)境問題