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一文全面了解PECVD

來源：新能源網(wǎng)
時(shí)間：2020-09-01 09:11:39
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一文全面了解PECVD等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相淀積(PECVD：Plasma Enhance Chemical Vapour Deposition),在硅片表面沉積一層氮化硅減反射膜，以

等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相淀積(PECVD：Plasma Enhance Chemical Vapour Deposition),在硅片表面沉積一層氮化硅減反射膜，以增加入射在硅片上的光的透射，減少反射，氫原子攙雜在氮化硅中附加了氫的鈍化作用。

（來源：微信公眾號“摩爾光伏”ID：molepv）


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熱門標(biāo)簽：光伏 硅片 反射 太陽能

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