峨眉山半導(dǎo)體廠多晶硅的具體生產(chǎn)工藝是怎樣的啊？

【專家解說】：2007年3月16日，峨嵋半導(dǎo)體材料廠18對(duì)棒多晶硅還原爐（簡稱大型還原爐）經(jīng)過100多個(gè)小時(shí)的正常運(yùn)行，成功產(chǎn)出直經(jīng)為85毫米、重量為764．9公斤的多晶硅。這是國內(nèi)首臺(tái)成功運(yùn)行的18對(duì)棒多晶硅還原爐。標(biāo)志著峨半廠多晶硅生產(chǎn)技術(shù)處于國內(nèi)同行業(yè)領(lǐng)先水平。 作為生產(chǎn)多晶硅的國有骨干企業(yè)，截至今年3月底，峨眉半導(dǎo)體材料廠資產(chǎn)總額為2.84億元?，F(xiàn)已形成年產(chǎn)多晶硅100噸、單晶硅100噸、硅片加工40噸、高純金屬70噸的生產(chǎn)能力。 峨眉半導(dǎo)體材料廠年產(chǎn)500噸電磁極多晶硅技改項(xiàng)目位于峨眉山市工業(yè)園區(qū)內(nèi)，占地104畝，是該企業(yè)現(xiàn)有年產(chǎn)200噸生產(chǎn)線技改基礎(chǔ)上不斷總結(jié)、完善形成的，它采用的工藝和技術(shù)代表了當(dāng)今世界先進(jìn)水平。該項(xiàng)目生產(chǎn)的多晶硅產(chǎn)品具有耐高壓、體積小、效率高、壽命長及可靠性好等優(yōu)點(diǎn)，是生產(chǎn)集成電路、半導(dǎo)體器件、國防軍工和信息產(chǎn)業(yè)的重要基礎(chǔ)材料。峨眉半導(dǎo)體材料廠電路級(jí)多晶硅項(xiàng)目建成后，將緩解國內(nèi)多晶硅產(chǎn)品嚴(yán)重短缺的現(xiàn)狀，實(shí)現(xiàn)年銷售收入4.75億元，創(chuàng)造良好的社會(huì)效益和經(jīng)濟(jì)效益。 早在1999年峨半廠100噸多晶硅生產(chǎn)線建成時(shí)，大型還原爐就自主研制成功，因?yàn)榇嬖谝欢ǖ墓に嚾毕荻婚e置。去年6月28日峨半廠與東汽公司（原東方汽輪機(jī)廠）強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)手后，企業(yè)發(fā)展駛?cè)肭八从械目燔嚨?。東方汽輪機(jī)廠的資金優(yōu)勢與峨眉半導(dǎo)體廠的技術(shù)優(yōu)勢相結(jié)合，有利于峨眉半導(dǎo)體廠500噸多晶硅項(xiàng)目的啟動(dòng)。項(xiàng)目合作后，東方汽輪機(jī)廠首期對(duì)峨眉半導(dǎo)體廠注入6億元資金，啟動(dòng)500噸多晶硅、單晶硅、硅片等相關(guān)項(xiàng)目，同時(shí)啟動(dòng)與500噸多晶硅項(xiàng)目匹配的光伏產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目。 “十一五”期間，東方汽輪機(jī)廠將在樂山建成1500噸多晶硅及相關(guān)產(chǎn)業(yè)鏈項(xiàng)目，并將太陽能光伏產(chǎn)業(yè)作為該廠的主導(dǎo)產(chǎn)業(yè)。項(xiàng)目完成后，整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈預(yù)計(jì)將新增銷售收入100億元。 為迅速擴(kuò)大多晶硅產(chǎn)量，提升多晶硅生產(chǎn)技術(shù)水平，峨半廠于去年11月組織精兵強(qiáng)將對(duì)大型還原爐進(jìn)行改造。經(jīng)過4個(gè)多月努力，改造后的大型還原爐首次運(yùn)行就獲得成功，標(biāo)志著峨半廠多晶硅生產(chǎn)技術(shù)處于國內(nèi)同行業(yè)領(lǐng)先水平。 據(jù)峨半廠廠長胡蘊(yùn)成介紹，此次對(duì)大型還原爐實(shí)施改造達(dá)到了預(yù)期目的。一是巧妙改造費(fèi)用省。此次技改，全部費(fèi)用僅用10余萬元，比原計(jì)劃節(jié)約近60萬元。二是變閑為寶效益增。大型還原爐重新啟用后，全年多晶硅產(chǎn)量將增加30多噸，可新增產(chǎn)值3000多萬元。三是技術(shù)儲(chǔ)備影響大。大型還原爐的成功運(yùn)行，為峨半廠年內(nèi)將進(jìn)行的500噸電路級(jí)多晶硅項(xiàng)目建設(shè)以及今明兩年將開展的3×1500噸太陽能級(jí)多晶硅項(xiàng)目建設(shè)積累了寶貴的數(shù)據(jù)資料。