半導(dǎo)體行業(yè)需要真空泵做什么,真空泵在半導(dǎo)體中的應(yīng)用有哪些?
來源:新能源網(wǎng)
時間:2024-08-17 14:21:01
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半導(dǎo)體行業(yè)需要真空泵做什么,真空泵在半導(dǎo)體中的應(yīng)用有哪些?【專家解說】:應(yīng)用很多,沒有真空泵,那個廠就沒閥生產(chǎn),簡單可以分為: PECVD ,氣相物理(化學(xué))沉積,工藝真空:用于一
【專家解說】:應(yīng)用很多,沒有真空泵,那個廠就沒閥生產(chǎn),簡單可以分為: PECVD ,氣相物理(化學(xué))沉積,工藝真空:用于一些真空吸筆,測試設(shè)備,機械手等, 清掃真空:自動化的清潔設(shè)備 等等
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