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高真空泵有哪些?低真空泵有哪些?為何高真空泵需串接前級(jí)泵?

來(lái)源:新能源網(wǎng)
時(shí)間:2024-08-17 08:10:32
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高真空泵有哪些?低真空泵有哪些?為何高真空泵需串接前級(jí)泵?【專家解說(shuō)】:目前常用的高真空泵有分子泵,冷泵,油擴(kuò)散泵等;低真空泵旋片泵等;高真空泵由于結(jié)構(gòu)的原因,不能在較差的真空狀態(tài)

【專家解說(shuō)】:目前常用的高真空泵有分子泵,冷泵,油擴(kuò)散泵等;低真空泵旋片泵等;高真空泵由于結(jié)構(gòu)的原因,不能在較差的真空狀態(tài)下工作,需串接前級(jí)泵預(yù)抽真空.