感應(yīng)耦合輔助磁控濺射氧化鋅薄膜在銅銦硒薄膜太陽能電池中的界面(英文)

【摘要】：薄膜銅銦硒太陽能電池由于前后電極間歐姆接觸導(dǎo)致電流損耗,高阻氧化鋅層可以消除因表面空洞或表面損壞造成的前后電極短路,這種作用大小取決于氧化鋅薄膜表面形貌和電阻率。本論文研究了用感應(yīng)耦合等離子輔助磁控濺射氧化鋅薄膜在銅銦硒薄膜太陽能電池中的應(yīng)用,并分析氧化鋅薄膜層和銅銦硒層的界面結(jié)構(gòu)特點。實驗用氧化鋅陶瓷靶在氧氣和氬氣環(huán)境下進行濺射,當濺射氣壓為4 mTorr,射頻功率300W,直流偏壓30V時,制備的氧化鋅具有表面形貌均勻致密,電阻率為7×108Ω.cm、透光率80%以上等特性,與吸收層銅銦硒構(gòu)成良好的異質(zhì)結(jié)界面。 【作者單位】： 安慶師范學(xué)院物理學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 氧化鋅薄膜 感應(yīng)耦合等離子磁控濺射 界面研究
【基金】：Natural Science Foundation of Anhui province(No.2005kj232)
【分類號】：TM914.4
【正文快照】： 0 IntroductionZinc oxide(ZnO)bilayer is most often used forthe window layer in CuInSe2(CIS)solar cells[1-4].The first layer is the actual front contact of a CuInSe2solar cell and consists of a highly conductive aluminumdoped zinc oxide(ZnO:Al)film.The se

您可以在本站搜索以下學(xué)術(shù)論文文獻來了解更多相關(guān)內(nèi)容

霧化熱解法制備ZnO薄膜及其光電性能    楊成興,季振國,劉坤,樊瑞新,葉志鎮(zhèn)

氧化物薄膜電化學(xué)沉積的研究進展    熊金平,葉皓,趙景茂,左禹

電化學(xué)法制備納米材料的研究現(xiàn)狀    劉慶,陸文雄,印仁和

ZnO光電導(dǎo)紫外探測器的制備和特性研究    葉志鎮(zhèn),張銀珠,陳漢鴻,何樂年,鄒璐,黃靖云,呂建國

ZnO薄膜應(yīng)用的最新研究進展    呂建國,汪雷,葉志鎮(zhèn),趙炳輝

交流電沉積法制備金屬氧化物納米材料及形貌控制    王翠英,陳祖耀

方波脈沖電沉積氧化鋅薄膜的研究    李懷祥,趙婧,王瑞華

襯底溫度對PLD方法生長的ZnO薄膜結(jié)構(gòu)和發(fā)光特性的影響    孫柏;鄒崇文;劉忠良;徐彭壽;張國斌;

溶膠-凝膠方法制備AZO薄膜及其光電性能研究    葛春橋,薛亦渝,胡小鋒,郭愛云

真空熱蒸發(fā)碲化鎘薄膜的結(jié)構(gòu)組成和光電性能研究    張溪文,韓高榮

氧化鋅及其鋁摻雜納米顆粒的制備及在染料敏化納米晶太陽能電池中的應(yīng)用    阿里

鐵氧體和氧化鋅薄膜的溶液法制備、結(jié)構(gòu)與性質(zhì)    田強

高頻SAW器件高性能壓電薄膜的制備及性能研究    王芳

銅錮鎵硒薄膜太陽電池無鎘緩沖層ZnS薄膜研究    卞志強

絨面氧化鋅薄膜的研究及其在太陽能電池上的應(yīng)用    劉佳宇

銅銦鎵硒薄膜太陽能電池窗口層材料研究    許修兵