磁控濺射太陽(yáng)能電池預(yù)鍍Mo薄膜及其性能

【摘要】：利用磁控濺射法在玻璃基片上進(jìn)行了太陽(yáng)能電池預(yù)鍍層Mo薄膜的制備,研究了氬氣分壓、濺射功率、濺射時(shí)間等工藝條件對(duì)Mo膜性能及厚度的影響,并對(duì)Mo膜的物理性能及電學(xué)性能進(jìn)行了研究。結(jié)果表明,Mo薄膜的厚度與濺射時(shí)間近似的成正比關(guān)系,Mo膜的電阻率先降低,并在膜厚為0.3μm處達(dá)到最低,而后電阻率逐漸增加。 【作者單位】： 遼寧科技大學(xué)工程訓(xùn)練中心;鞍鋼技術(shù)中心;東北大學(xué);
【關(guān)鍵詞】： 太陽(yáng)能電池 磁控濺射 Mo薄膜
【分類(lèi)號(hào)】：TB383.2
【正文快照】： Mo薄膜作為太陽(yáng)能電池的反射層,其高的熱穩(wěn)定性和機(jī)械強(qiáng)度以及良好的電學(xué)性能越來(lái)越受到人們的重視。Mo薄膜性能的好壞直接影響到吸收層CIS薄膜的形核、生長(zhǎng)以及表面形貌,進(jìn)而對(duì)電池性能產(chǎn)生重要影響。以Mo薄膜作為背反射層,通過(guò)“三源共蒸工藝”制備的小面積CIS薄膜,其試驗(yàn)

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太陽(yáng)能電池CuInS_2薄膜和ZnS薄膜的制備與性能研究    張興良

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濺射粒子能量對(duì)金屬M(fèi)o薄膜表面特性的影響    齊紅基,易葵,賀洪波,邵建達(dá)

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磁控濺射工藝參數(shù)對(duì)不銹鋼薄膜結(jié)合性能的影響    周志華,傅明喜,黃興民,陸瓊曄

濺射Ar~+能量對(duì)離子束濺射制備Ge薄膜結(jié)晶性的影響    宋超;楊瑞東;馮林永;陳寒?huà)?鄧榮斌;王國(guó)寧;楊宇;

晶體AlCrTaTiNi高熵合金薄膜    張立東;劉春海;孫化冬;張偉;

直流濺射工藝參數(shù)對(duì)Mo薄膜結(jié)構(gòu)及電性能的影響    黃濤;閆勇;黃穩(wěn);張艷霞;晏傳鵬;劉連;張勇;趙勇;余洲;

薄膜厚度對(duì)直流脈沖磁控濺射Mo薄膜光電性能的影響    朱繼國(guó);柴衛(wèi)平;王華林;張樹(shù)旺;劉世民;張粲;汪亞輝;

工作氣壓對(duì)直流磁控濺射Mo薄膜的影響    曹德峰;萬(wàn)小波;邢丕峰;易泰民;楊蒙生;鄭鳳成;徐導(dǎo)進(jìn);王昆黍;樓建設(shè);孔澤斌;祝偉明;

濺射功率對(duì)磁控濺射制備Bi薄膜結(jié)構(gòu)和性能的影響    廖國(guó);何智兵;陳太紅;許華;李俊;諶加軍;

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超薄鋁膜的制備與透光率的研究    付光宗;楊豐帆;楊小紅;廖克俊;劉高彬;

直流脈沖磁控濺射制備Mo薄膜及其性能研究    朱繼國(guó)

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直流濺射工藝參數(shù)對(duì)Mo薄膜結(jié)構(gòu)及電性能的影響    黃濤

聯(lián)氨對(duì)化學(xué)水浴沉積ZnS薄膜的影響    冒國(guó)兵;劉琪;敖建平;

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8～14μm長(zhǎng)波紅外頭罩材料    憨勇,劉正堂,鄭修麟

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國(guó)家太陽(yáng)能電池示范工程落戶(hù)保定    

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有機(jī)染料錨數(shù)對(duì)染料敏化太陽(yáng)能電池性能的影響    尚會(huì)霞;羅艷紅;孟慶波;占肖衛(wèi);

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用于聚合物太陽(yáng)能電池的高效共軛聚合物光伏材料    李永舫;

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G風(fēng)帆 太陽(yáng)能電池新貴    天同證券 張銳

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太陽(yáng)能電池面臨出口為主的尷尬    無(wú)暇

邱第明:中國(guó)最早太陽(yáng)能企業(yè)的跌宕起伏    本報(bào)記者王穎春 采寫(xiě)

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反型聚合物太陽(yáng)能電池的研究    李福民

聚合物太陽(yáng)能電池中光吸收增強(qiáng)效應(yīng)的研究    李國(guó)龍

聚光多結(jié)太陽(yáng)能電池的設(shè)計(jì)、制備及可靠性研究    宋明輝

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有機(jī)/聚合物太陽(yáng)能電池：活性層結(jié)構(gòu)、形貌及光伏性能    薛麗麗

有機(jī)小分子太陽(yáng)能電池的效率優(yōu)化及衰減性研究    鄒業(yè)

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基于太陽(yáng)能的嵌入式路燈控制系統(tǒng)的研究與應(yīng)用    劉春

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三芳基咪唑的富勒烯衍生物的合成及其在CdSe量子點(diǎn)太陽(yáng)能電池的應(yīng)用    趙愛(ài)婷

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敏化太陽(yáng)能電池中染料的合成研究    徐丹

含噻吩和噻唑基元的共軛聚合物的合成和光伏性能研究    國(guó)霞

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