集成電路行業(yè)冷凍空調(diào)節(jié)能方案

【摘要】：根據(jù)上海市能效中心2009-2010年開展的電平衡的資料統(tǒng)計,集成電路(IC)制造行業(yè)暖通空調(diào)(HVAC)耗電量占總用電量的40%-46%,因此研究IC行業(yè)HVAC系統(tǒng)如何節(jié)能對降低能耗非常重要。上海市能效中心在近幾年受理了許多IC行業(yè)節(jié)能技改項目,有許多案例很值得推廣。 【作者單位】： 上海市能效中心;
【關(guān)鍵詞】： 潔凈室 集成電路 冷凍機(jī) 節(jié)能方案 冷凍水 潔凈空調(diào)系統(tǒng) 循環(huán)風(fēng) 行業(yè) 上海節(jié)能 潔凈度
【分類號】：TU831.8;TU201.5
【正文快照】： 集成電路制造晶片直徑已達(dá)300mm,工藝已達(dá)32nm。集成電路主要生產(chǎn)工序包括:清洗、氧化/擴(kuò)散、CVD/PVD沉積、光刻、去膠、干法刻蝕、CMP研磨、濕法腐蝕、離子注入、濺射鍍膜、檢測等,芯片生產(chǎn)工藝復(fù)雜。因此集成電路制造對環(huán)境要求非常高,對動力供應(yīng)參數(shù)要求也非常高,能源消耗

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