冶金法制備太陽能級(jí)多晶硅工藝技術(shù)研究

【摘要】：以純度99%的工業(yè)硅為原料,通過造渣熔煉、電子束爐真空熔煉和定向凝固手段進(jìn)行了太陽能級(jí)多晶硅制備的研究。結(jié)果表明:通過造渣熔煉、電子束爐熔煉、兩次定向凝固的工藝成功地將工業(yè)硅中的總雜質(zhì)含量(質(zhì)量分?jǐn)?shù))降到了1 ppm以下,其中B低于0.3 ppm、P低于0.5 ppm、總金屬雜質(zhì)含量TM低于0.2 ppm、C濃度低于5×1016atoms/cm3、O濃度低于1.0×1017atoms/cm3,產(chǎn)品達(dá)到太陽能級(jí)多晶硅標(biāo)準(zhǔn)。與國內(nèi)外已公布的冶金法制備太陽能級(jí)多晶硅工藝流程相比,本工藝未采用酸洗,清潔高效,沒有任何污染。 【作者單位】： 昆明貴金屬研究所;
【關(guān)鍵詞】： 工業(yè)硅 造渣 電子束熔煉 定向凝固
【基金】：云錫集團(tuán)科技計(jì)劃項(xiàng)目基金資助(2010-31A-03)
【分類號(hào)】：TN304.12
【正文快照】： 多晶硅是制備太陽能電池的原材料,是全球光伏產(chǎn)業(yè)的基石。目前,世界上75%的多晶硅都是采用西門子法工藝生產(chǎn)的,其關(guān)鍵技術(shù)主要掌握在美國、日本、德國以及挪威等國家的幾個(gè)主要生產(chǎn)廠商中,形成技術(shù)封鎖和壟斷。而冶金法是將工業(yè)硅在不改變硅的本質(zhì)狀況下,采用精煉、濕法、真空

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