太陽能硅片厚度與翹曲度檢測方法及振動抑制研究

【摘要】：本文設計了一種太陽能硅片厚度與翹曲度檢測裝置,闡述了厚度與翹曲度的檢測方法,分析了檢測過程中存在的問題,并通過算法優(yōu)化,提出了一種可靠的解決方案。實踐表明,該算法可有效地抑制振動因素,從而提高了測量精度。 【作者單位】： 臺州市計量技術研究院;
【關鍵詞】： 厚度 翹曲度 振動 算法
【分類號】：TP274;TB535
【正文快照】： The Research of Measurement Method and Vibration Suppressionfor Silicon Wafer Thickness and WarpZheng Bowen Xu Xin Zhou Bo Ying Xian0引言太陽能是一次可再生能源,取之不盡,用之不竭,且不會對環(huán)境造成污染。太陽能使人類擁有了一種新的生活方式,為人類使用新能源提

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