光伏新材料a-CN_x薄膜的光電響應(yīng)性質(zhì)

【摘要】：采用離子束濺射反應(yīng)沉積技術(shù) ,以高純 N2 為工作氣體 ,利用在不同氣壓下產(chǎn)生的離子束轟擊石墨靶 ,在石英基片上濺射出的碳原子與氮離子反應(yīng) ,沉積出 a- CNx 薄膜 .在室溫下 ,研究薄膜的暗電導(dǎo)和在鹵素光源照射下的光電導(dǎo)、光響應(yīng)增益、響應(yīng)時(shí)間等性質(zhì) ,以及制備工藝和摻雜、氫化對(duì)這些性質(zhì)的影響及關(guān)系 .實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明 :未摻雜的 a- CNx 薄膜的光響應(yīng)增益達(dá) 1 8,磷摻雜薄膜的光響應(yīng)增益為 3.0 ,經(jīng)過(guò)氫化處理的未摻雜 a- CNx 薄膜的光響應(yīng)增益為 30 ,光響應(yīng)時(shí)間大約為 30 0 s. 【作者單位】： 上海交通大學(xué)物理系太陽(yáng)能研究所 上海交通大學(xué)物理系太陽(yáng)能研究所 上海交通大學(xué)物理系太陽(yáng)能研究所 上海交通大學(xué)物理系太陽(yáng)能研究所
【關(guān)鍵詞】： 氮化碳薄膜 磷摻雜a-CNx 離子束濺射 光電響應(yīng)
【分類(lèi)號(hào)】：TN202
【正文快照】： 1　引言2 0世紀(jì) 90年代初 ,Liu和 Cohen[1 ,2 ] 首先以 β-Si3 N4結(jié)構(gòu)為模型用理論計(jì)算的形式預(yù)言了存在一種與β- Si3 N4結(jié)構(gòu)類(lèi)似的化合物β- C3 N4,其體模量可與金剛石相比甚至可能大于金剛石的體模量 ;其他理論物理學(xué)家采用不同方法計(jì)算也得出相似結(jié)論 [3 ] .β- C3 N4不

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