液相外延法制備0.55eV-GaInAsSb四元合金薄膜及其在熱光伏器件中的應(yīng)用(英文)

【摘要】：利用液相外延法(LPE)在n型GaSb襯底上成功制備了用于熱光伏電池的Ga1-xInxAsySb1-y四元合金薄膜.通過(guò)原子力顯微鏡對(duì)薄膜的表面形貌進(jìn)行了分析評(píng)價(jià).X射線能譜(EDAX)分析表明四元合金薄膜的成分為x=0.2,y=0.17.紅外傅里葉變換透射譜分析表明,其室溫下的吸收截止波長(zhǎng)為2.256μm,對(duì)應(yīng)禁帶寬度為0.55eV.室溫下的霍爾測(cè)試結(jié)果表明外延膜具有良好的電學(xué)性能,其非故意摻雜的薄膜表現(xiàn)為p型,載流子濃度為6.1×1016cm-3,遷移率為512cm2/(V·s).又進(jìn)一步利用Ga1-xInxAsySb1 -y薄膜制備了不同結(jié)構(gòu)的GaInAsSb基熱光伏電池,光譜響應(yīng)測(cè)試表明其量子效率可達(dá)60%. 【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所半導(dǎo)體材料科學(xué)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所半導(dǎo)體材料科學(xué)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所半導(dǎo)體材料科學(xué)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所半導(dǎo)體材料科學(xué)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所半導(dǎo)體材料科學(xué)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室
【關(guān)鍵詞】： GaInAsSb 液相外延 熱光伏 光譜響應(yīng)
【分類號(hào)】：TM914.4
【正文快照】： 1 IntroductionRecently ,there has been a growing interest in thefield of thermoelectric conversion or thermophotovolta-ic ( TPV) technology due to its large power output ,high achievable conversion efficiency ,and better spec-tral match between the sourc

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