非晶硅太陽(yáng)能電池ZnO:Al/Al復(fù)合背電極增反工藝優(yōu)化

【摘要】：在硅基薄膜太陽(yáng)能電池中,常使用透明導(dǎo)電氧化物(TCO)與金屬組成的復(fù)合背反射電極,以增加對(duì)太陽(yáng)光的收集效率,從而提高太陽(yáng)能電池的轉(zhuǎn)化效率。實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn),透明導(dǎo)電膜自身性能、厚度大小及其與n層界面匹配情況是影響背反射電極性能的重要因素,所以本文將著眼點(diǎn)放在優(yōu)化TCO的制備工藝以得到性能良好的TCO膜,同時(shí)選擇合適的膜厚并改善界面匹配以提高背反射效果。通過(guò)實(shí)驗(yàn)和理論計(jì)算,得到最合適的膜厚100nm左右。與n-a-Si相比,n-μ-c-Si與TCO匹配更好。 【作者單位】：河北工業(yè)大學(xué) 南開(kāi)大學(xué)光電子所 河北工業(yè)大學(xué) 南開(kāi)大學(xué)光電子所 南開(kāi)大學(xué)光電子所 南開(kāi)大學(xué)光電子所 南開(kāi)大學(xué)光電子所
【關(guān)鍵詞】：透明導(dǎo)電膜 背反射電極 膜厚 透過(guò)率 反射率 界面匹配
【分類號(hào)】：TM914
【正文快照】： 1引言 對(duì)非晶硅太陽(yáng)電池來(lái)說(shuō),目前的關(guān)鍵問(wèn)題是進(jìn)一步提高光電轉(zhuǎn)換效率和改善穩(wěn)定性。其中氧化物透明導(dǎo)電膜TCO/metal復(fù)合背反射電極不但可以使I層的光吸收增強(qiáng),從而增大短路電流,提高電池的轉(zhuǎn)化效率[l,2〕,而且可以進(jìn)一步減薄I層,改善電池的穩(wěn)定性。 早期的背反射電極的TCO

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