電子工業(yè)用三氟甲烷中雜質(zhì)含量色譜分析

【摘要】：本文采用雙通道氣相色譜技術(shù)和脈沖氦離子化檢測器相結(jié)合,完成了電子工業(yè)用三氟甲烷氣體中微量永久性氣體雜質(zhì)及氟碳化合物雜質(zhì)含量的測定。兩路分析通道采取并聯(lián)的形式,每個通道有一根預(yù)柱及一根分析柱,在分析通道出口通過一個六通閥與PDHID檢測器連接,切換六通閥可以控制每路通道中雜質(zhì)組分進(jìn)入檢測器的順序。結(jié)果表明該方法具有重復(fù)性好,檢測限低,分析時間短,操作方便等特點。 【作者單位】：國家化學(xué)工業(yè)氣體產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗中心(福建) 西南化工研究設(shè)計院
【關(guān)鍵詞】：氣相色譜儀 電子氣體 三氟甲烷 氦離子色譜法
【分類號】：O657.7;TQ222.213
【正文快照】： 1引言高純度三氟甲烷主要用于電子工業(yè),在等離子體工藝中,它主要作為氧化膜和磷硅玻璃的蝕刻氣體,也可以用于離子束蝕刻工藝[1]。目前國內(nèi)主要生產(chǎn)工藝為三氯甲烷和氟化氫以液相催化法制得的二氟一氯甲烷中副產(chǎn)品三氟甲烷,經(jīng)提純制得高純?nèi)淄楫a(chǎn)品。隨著電子工業(yè)的飛速發(fā)展

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