用電子能譜研究n~+/p結(jié)太陽能電池減反膜ITO

【摘要】：正 優(yōu)質(zhì)氧化銦、氧化錫及銦錫氧化物(ITO)等透明導(dǎo)電膜的制備和研究對于改善光電器件中薄膜的減反射特性和信噪比都有重要的現(xiàn)實(shí)意義,它獨(dú)特的光電特性使其在電子工業(yè)特別是半導(dǎo)體光電器件應(yīng)用上有著特別重要的地位.例如在太陽能電池中,具有良好的光減反射特性的氧化銦膜已成為電池的一個(gè)重要組成部分.用ITO于澆鑄多晶硅的n~+/p電池上作減反射膜已取得了較好的效果.ITO用于光電器件的效果直接與ITO薄膜的性能有關(guān),搞清工藝對薄膜性能的影響,從而尋找合適的工藝條件是非常重要的.透明導(dǎo)電膜的制備工藝有電阻加熱蒸發(fā)、濺射、化學(xué)汽相淀積以及離子鍍等,其中以電阻加熱蒸發(fā)方法最為方便和經(jīng)濟(jì),缺點(diǎn)是蒸發(fā)時(shí)氧化物易受熱分解放氧形成多種低價(jià)氧化物 【作者單位】： 復(fù)旦大學(xué)物理學(xué)系
【關(guān)鍵詞】： 重要組成部分 工藝條件 現(xiàn)實(shí)意義 太陽能電池 透明導(dǎo)電膜 電子能譜 電阻加熱蒸發(fā) 半導(dǎo)體光電器件 反射特性 減反膜
【正文快照】： 優(yōu)質(zhì)氧化錮、氧化錫及錮錫氧化物(ITO)等透明導(dǎo)電膜的制備和研究對于改善光電器件中薄膜的減反射特性和信噪比都有重要的現(xiàn)實(shí)意義,它獨(dú)特的光電特性使其在電子工業(yè)特別是半導(dǎo)體光電器件應(yīng)用上有著特別重要的地位.例如在太陽能電池中,具有良廠的光減反射特性的氧化錮膜已成為

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