化學(xué)氣相淀積中甲烷含量變化的等離子體參數(shù)診斷

【摘要】：正 一、引言 金剛石薄膜以其優(yōu)異的特性越來越受到人們的重視。人們已用各種方法制備出金剛石薄膜、并詳細(xì)研究了膜質(zhì)量、膜的形貌與各種宏觀參量的關(guān)系。在這里,含碳物源相對(duì)于氫氣的濃度比對(duì)金剛石膜的結(jié)構(gòu)和形貌的影響是相當(dāng)嚴(yán)重的。從許多報(bào)道中可知,當(dāng) 【作者單位】： 中國科學(xué)院武漢物理所 中國科學(xué)技術(shù)大學(xué) 中國科學(xué)技術(shù)大學(xué) 中國科學(xué)技術(shù)大學(xué) 中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)
【關(guān)鍵詞】： 金剛石薄膜 等離子體參數(shù)診斷
【正文快照】： 一、引言 金剛石薄膜以其優(yōu)異的特性越來越受到人們的重視。人們已用各種方法制備出金剛石薄膜、并詳細(xì)研究了膜質(zhì)量、膜的形貌與各種宏觀參量的關(guān)系。在這里,含碳物源相對(duì)于氫氣的濃度比對(duì)金剛石膜的結(jié)構(gòu)和形貌的影響是相當(dāng)嚴(yán)重的‘”。從許多報(bào)道中‘2,“,‘,可知,當(dāng)CH‘/H

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