分離送入甲烷和氫氣的熱絲法沉積金剛石膜

【摘要】：采用熱絲法沉積金剛石膜.分離送入氫氣和甲烷．使作為發(fā)熱體的鎢絲電阻值比經(jīng)典的熱絲法降低20％．用此法制得的金剛石晶形較好．實驗表明：反應氣體的流量對膜的致密生長區(qū)影響很大． 【作者單位】： 中國科學院金屬研究所 中國科學院金屬研究所 中國科學院金屬研究所
【關鍵詞】： 熱絲法 分離 電阻 晶形 生長區(qū)
【基金】：國家自然科學基金!59392800 遼寧省科學技術委員會資助 中科院金屬腐蝕與防護國家重點實驗室資助
【分類號】：TB43
【正文快照】： 用熱絲法制備金剛石，通常采取氫氣和碳源氣體在同一管路通到熱絲上方的設計．其缺點是鎢絲碳化，加劇鎢絲變形，導致鎢絲壽命嚴重下降”’．C．1．Chll等人曾將氫氣和甲烷／乙炔分別送入反應室內，氫氣管在熱絲上方，而甲烷／乙炔混合氣體通入熱絲下方，與基材平行t“．并利

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