四氟甲烷等離子體對贗復硅橡膠吸水率、溶解率影響
四氟甲烷等離子體對贗復硅橡膠吸水率、溶解率影響【摘要】:目的:觀察四氟甲烷(CF4)低溫等離子體對兩種贗復硅橡膠吸水率、溶解率的影響。方法:將固化好的硅橡膠試樣分組,按照不同工作參
【關鍵詞】: 四氟甲烷(CF)等離子體 硅橡膠 吸水率 溶解率
【分類號】:R783.1
【正文快照】: 在低溫等離子體工作氣體中,四氟甲烷(CF4)是一種反應性氣體。多數(shù)有機類反應性氣體的等離子體可以觀察到等離子體聚合反應。但是CF4有其特殊性:在CF4的等離子體聚合中幾乎不生成聚合膜,主要是基材的蝕刻。它是通過等離子體化而不發(fā)生聚合的少數(shù)有機物之一,可作為有效的等離子
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