國務(wù)院關(guān)于印發(fā)《2024—2025年節(jié)能降碳行動方案》的通知
詳解鈍化接觸太陽能光伏電池
詳解鈍化接觸太陽能光伏電池晶硅太陽能電池的表面鈍化一直是設(shè)計和優(yōu)化的重中之重。從早期的僅有背電場鈍化,到正面氮化硅鈍化,再到背面引入諸如氧化硅、氧化鋁、氮化硅等介質(zhì)層的鈍化局部開孔
表面鈍化的演進(jìn)鈍化的“史前時代”
在90年代之前晶硅電池商業(yè)化生產(chǎn)的早期,太陽能電池制造商已經(jīng)開始采用絲網(wǎng)印刷技術(shù),但與我們?nèi)缃袷褂玫挠钟兴煌?。主要的區(qū)別在于兩點首先當(dāng)時的正面網(wǎng)印銀漿沒有燒穿(Fire-through)這一功能,因此在當(dāng)時的生產(chǎn)線上,需要先進(jìn)行網(wǎng)印,而后沉積當(dāng)時的TiO2減反射層。另一個區(qū)別在于當(dāng)時的銀漿與硅形成有效歐姆接觸的能力較差,只有與高摻雜的硅才可以接觸良好。由于TiO2沒有很好的鈍化功能,人們在當(dāng)時并沒有過多的考慮鈍化。而且由于減反射層在金屬電極之上,因此沉積的時候需要用模版遮擋主柵,以便后續(xù)的串焊。
雖然這一時期,在實驗室中,科研人員已經(jīng)采用SiO2鈍化電池表面,并取得不俗的開路電壓和效率。
SiNxH第一次進(jìn)化
90年代,科研機(jī)構(gòu)和制造商開始探索使用等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)技術(shù)制備含氫的氮化硅(SiNxH)薄膜用作電池正面的減反射膜。其中原因之一在于相對合適的折射率,但更重要的原因則在于氮化硅優(yōu)良的的鈍化效果。氮化硅除了可以飽和表面懸掛鍵,降低界面態(tài)外,還通過自身的正電荷,減少正面n型硅中的少子濃度,從而降低表面復(fù)合速率。SiNx中攜帶的氫可以在燒結(jié)的過程中擴(kuò)散到硅片中,對發(fā)射極和硅片的內(nèi)部晶體缺陷進(jìn)行鈍化,這對品質(zhì)較低的多晶硅片尤其有效,大幅提高了當(dāng)時太陽能電池的效率。
伴隨著鈍化材料上的創(chuàng)新,銀漿材料與燒結(jié)工藝上的變革也同時到來,那就是可以燒穿的漿料和共燒(Co-firing)燒結(jié)工藝。有了燒穿特性后,可以先進(jìn)行減反射膜的沉積,后網(wǎng)印漿料,然后燒結(jié)。由于順序的顛倒,不用再擔(dān)心金屬柵線上覆蓋的減反射層影響焊接,也省去了沉積TiO2需要的部分遮擋。同時人們發(fā)明了將正反面漿料一次燒結(jié)的共燒工藝,在一次燒結(jié)中,正面的銀漿穿過SiNx與硅形成接觸,而背面的鋁漿也同步形成背面電極和背電場(backsurfacefield)。這一系列改進(jìn)大大簡化了絲網(wǎng)印刷電池的工藝,并逐漸成為了晶硅電池生產(chǎn)的主流。
太陽能電池表面鈍化結(jié)構(gòu)的演進(jìn)
AlOx第二次進(jìn)化
隨著電池正面的鈍化效果和接觸性能由于SiNx的使用和銀漿改進(jìn)在不斷提高,進(jìn)一步優(yōu)化正面已經(jīng)進(jìn)入瓶頸階段,人們把視線投向了另一個復(fù)合嚴(yán)重的區(qū)域,那就是電池的背表面。雖然在傳統(tǒng)絲網(wǎng)印刷的晶硅電池中,鋁背場可以減少少子濃度,減少復(fù)合,但仍然無法與使用介質(zhì)層帶來的鈍化效果相比較。其實背面的介質(zhì)層鈍化也非新鮮話題,UNSW早在90年代就提出了發(fā)射極和背面鈍化(PERC)結(jié)構(gòu)以及發(fā)射極和背面鈍化局部擴(kuò)散(PERL)結(jié)構(gòu),在早期設(shè)計中,這兩種結(jié)構(gòu)都在背面采用氧化硅層鈍化,局部開孔實現(xiàn)點接觸以減少非鈍化區(qū)域的面積。兩者的區(qū)別在于是否在開口區(qū)域進(jìn)行局部摻雜擴(kuò)散,局部擴(kuò)散增加工藝難度,但會形成局部背電場,減少接觸部分的復(fù)合速率。但高品質(zhì)氧化硅的生長需要較高的溫度,對于已經(jīng)經(jīng)過高溫擴(kuò)散的硅片來說,為減少對體少子壽命的影響,應(yīng)盡量減少長時間的高溫工藝,因此對其他材料的搜索在2000年左右提上議事日程。
既然SiNx已經(jīng)在電池正面證明有諸多好處,那能否在背面繼續(xù)使用這一材料呢。答案是否定的,上面已經(jīng)提到,SiNx鈍化的機(jī)制之一在于利用其正電荷減少正面n型區(qū)的少子濃度,可是到了p型的背面,其正電荷將有可能在背面誘導(dǎo)形成一層n型反轉(zhuǎn)層(inversionlayer),這會造成背面的旁路損失,影響電流,降低電壓和填充因子。
那么問題來了,鈍化背面究竟哪家強(qiáng)呢?在歐洲幾家研究機(jī)構(gòu)的努力下,一種對光伏研究人員并不陌生的材料的又一次走到臺前,那就是氧化鋁(AlOx)。其不但像SiNx一樣可以鈍化表面缺陷,還擁有與SiNx相反的負(fù)電荷,正是因為這一點,在p型硅背面使用AlOx鈍化層,不但不會形成反轉(zhuǎn)層造成漏電,反而會增加p型硅中多子濃度,降低少子濃度,從而降低表面復(fù)合速率。不過AlOx的使用也需要伴隨這工藝的改進(jìn)和設(shè)備的進(jìn)步,例如解決高速沉積AlOx的問題,氧化鋁本身的不穩(wěn)定性以及良品率較低等問題。
選擇性接觸電池能帶圖
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