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透析PECVD

來源:新能源網(wǎng)
時(shí)間:2020-04-17 09:06:59
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透析PECVD:等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相淀積(PECVD:Plasma Enhance Chemical Vapour Deposition),在硅片表面沉積一層氮化硅減反射膜,以增加入

:等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相淀積(PECVD:Plasma Enhance Chemical Vapour Deposition),在硅片表面沉積一層氮化硅減反射膜,以增加入射在硅片上的光的透射,減少反射,氫原子攙雜在氮化硅中附加了氫的鈍化作用。

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