低壓甲烷等離子體發(fā)射光譜診斷

【摘要】：在CH4/He體系下,利用光學(xué)發(fā)射譜技術(shù),對(duì)螺旋波放電產(chǎn)生低壓甲烷等離子體內(nèi)活性粒子的光學(xué)發(fā)射特征進(jìn)行了原位測量。根據(jù)甲烷離解后產(chǎn)生的所有可能基、團(tuán)的對(duì)稱性、構(gòu)造并分析了甲烷離解的所有可能反應(yīng)通道,進(jìn)一步證實(shí)了CH、Hα、Hβ以及Hγ等碎片粒子的存在。研究了各實(shí)驗(yàn)參量對(duì)活性基團(tuán)CH、Hα、Hβ以及Hγ的發(fā)射譜強(qiáng)度的影響。結(jié)果表明:CH粒子發(fā)射光譜譜線相對(duì)強(qiáng)度隨著射頻功率的增大是先增大而后減小,隨工作氣壓的增大而逐漸減小;隨氣壓及功率的增加,Hα、Hβ以及Hγ相對(duì)強(qiáng)度變化的總體趨勢都是先增加而后減小的。該結(jié)果為等離子體沉積各種薄膜過程的理解及制備工藝參數(shù)的調(diào)整提供了基礎(chǔ)數(shù)據(jù)。 【作者單位】： 四川大學(xué)原子與分子物理研究所 中國工程物理研究院激光聚變研究中心 四川大學(xué)原子與分子物理研究所 中國工程物理研究院激光聚變研究中心 四川大學(xué)原子與分子物理研究所
【關(guān)鍵詞】： 光學(xué)發(fā)射譜 甲烷等離子體 螺旋波放電
【基金】：中國工程物理研究院重大基金(No.2052)
【分類號(hào)】：O621.2
【正文快照】： 碳?xì)浔∧ぷ?971年被報(bào)道以來[1],由于其具有優(yōu)異的物理和化學(xué)性質(zhì),一直受到人們的青睞,并對(duì)它作了不少的研究。制備碳?xì)浔∧さ姆椒ê芏?如離子束輔助沉積[2]、離子濺射沉積[3]、等離子體化學(xué)氣相沉積[4]等等,而低壓等離子體化學(xué)氣相沉積(LPP-CVD)是許多薄膜生長的主要方法。

您可以在本站搜索以下學(xué)術(shù)論文文獻(xiàn)來了解更多相關(guān)內(nèi)容

大氣壓下介質(zhì)阻擋放電的發(fā)射光譜診斷    肖重發(fā)

低溫非平衡甲烷等離子體發(fā)射光譜診斷    羅利霞

低壓微波等離子體催化甲烷偶聯(lián)生成C_2烴的研究    張欽,楊鴻生,沈長圣,孫永志,董家祿,孫嵐,孫德坤,鄭福萍

離子液體的應(yīng)用研究進(jìn)展    邵媛;鄧宇;

脈沖電暈等離子體作用下甲烷偶聯(lián)反應(yīng)──Ⅰ.無氧氣氛下    朱愛民,宮為民,張秀玲,張報(bào)安

介質(zhì)阻擋放電等離子體催化天然氣偶聯(lián)制C_2烴    王保偉,許根慧

等離子體與幾種載體共同作用下CH_4/H_2的反應(yīng)    代斌,孫傳慶,李文娟,宮為民

等離子體催化轉(zhuǎn)化甲烷合成C_2烴的研究進(jìn)展    陳韓飛;代斌;李金平;

脈沖電暈等離子體作用下甲烷偶聯(lián)反應(yīng)的研究Ⅱ.反應(yīng)添加氣的影響    朱愛民,張秀玲,宮為民,代斌,張報(bào)安

常壓介質(zhì)阻擋放電等離子體發(fā)射光譜的檢測分析    唐曉亮;邱高;王良;馮賢平;

室溫離子液體的合成    劉大飛;徐軍;陳宜俍;郭士嶺;詹予忠;

綠色溶劑離子液體的性質(zhì)和應(yīng)用研究進(jìn)展    韓金玉,黃鑫,王華,王占衛(wèi)

三級(jí)差分抽氣分子束質(zhì)譜裝置的研制及氧、氫等離子體的分子束質(zhì)譜診斷    劉佳宏

分析化學(xué)在時(shí)空上的延伸    李燕

高頻離子源等離子體特性研究    唐平瀛

高分辨（飽和）分子光譜譜線線型、線寬及其應(yīng)用的研究    林潔麗

氫等離子體中氫原子密度定量測定及亞穩(wěn)態(tài)氫分子負(fù)離子的產(chǎn)生與檢測研究    王衛(wèi)國

大氣壓下介質(zhì)阻擋放電的發(fā)射光譜診斷    肖重發(fā)

在直流放電等離子體中甲烷轉(zhuǎn)化為碳二烴的研究    胡淼

鍍膜機(jī)智能膜厚控制系統(tǒng)的研究    楊波

微波氫等離子體發(fā)射光譜診斷    耿自才

NbN薄膜的制備及等離子體診斷    王金剛

激光深熔焊接光致等離子體溫度測量的試驗(yàn)研究    張剛

低溫低壓氫等離子體光譜診斷    鄧紅艷

低溫氫等離子體診斷    王加扣

光電探測器特性一體化實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)研究    曲洪豐

微波等離子體偶聯(lián)甲烷制C2烴的研究    張欽

等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積氮化碳薄膜過程中的光學(xué)發(fā)射譜研究    于威,王淑芳,任國斌,李曉葦,張連水,傅廣生

脈沖紅外激光誘發(fā)SiH＿4＋CH＿4解離動(dòng)力學(xué)研究    于威，李曉葦，韓理，張連水，傅廣生