太陽(yáng)能級(jí)多晶硅尾氣回收液相二氧化硅提純

【摘要】：亞洲(青海)硅業(yè)引進(jìn)西門子法生產(chǎn)多晶硅時(shí)所產(chǎn)生的尾氣回收液相二氧化硅沒(méi)有利用,而是直接被填埋,不僅浪費(fèi)了能源和原材料,而且對(duì)環(huán)境造成污染。從節(jié)約能源和環(huán)保的角度考慮,必須對(duì)尾氣進(jìn)行回收再利用。本文對(duì)亞洲(青海)硅業(yè)引進(jìn)西門子法生產(chǎn)太陽(yáng)能級(jí)多晶硅尾氣回收液相二氧化硅進(jìn)行提純實(shí)驗(yàn)。結(jié)果表明,影響二氧化硅純度的主要因素是加熱減量和灼燒減量;該樣品除了含有一定量的水分外,還含有一定的灰分和揮發(fā)份,主要來(lái)源是除二氧化硅外四氯化硅的水解產(chǎn)物,還有部分硅膠,其在高溫加熱時(shí)失水產(chǎn)生二氧化硅粉,同時(shí)二氧化硅表面吸附了少量未水解的硅氯化物,在加熱時(shí)揮發(fā),本方法得到的二氧化硅含量均大于99.8%以上的粉體;從樣品形貌可以看出,團(tuán)聚使樣品粒度增大。 【作者單位】： 青海大學(xué)先進(jìn)材料與應(yīng)用技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： 液相二氧化硅 加熱減量 灼燒減量 純度 粒度
【基金】：青海省高新技術(shù)項(xiàng)目(2008-J-16)
【分類號(hào)】：TN304.12
【正文快照】： 多晶硅是半導(dǎo)體工業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)、太陽(yáng)能光伏電池產(chǎn)業(yè)最主要且最基礎(chǔ)的功能性材料。多晶硅太陽(yáng)能電池生產(chǎn)需要多晶硅材料,集成電路用硅單晶材料的生產(chǎn)同樣需要多晶硅,其重要性不言而喻[1]。隨著中國(guó)光伏產(chǎn)業(yè)近年來(lái)的超常規(guī)發(fā)展,生產(chǎn)多晶硅實(shí)際上是一個(gè)提純過(guò)程,現(xiàn)有的提純

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