微晶硅材料及其在太陽能電池中的應用

【摘要】：微晶硅(μc-Si：H)是國際公認的新一代硅基薄膜太陽能電池材料。綜述了微晶硅的基本特性,器件質量級材料的表征參量,材料的生長技術,微晶硅在太陽電池中的應用及其發(fā)展前景。 【作者單位】： 河北工業(yè)大學 南開大學光電子薄膜技術與器件研究所 河北工業(yè)大學 南開大學光電子薄膜技術與器件研究所 南開大學光電子薄膜技術與器件研究所 南開大學光電子薄膜技術與器件研究所 河北工業(yè)大學
【關鍵詞】： 微晶硅 轉化效率 等離子體增強化學氣相沉積 太陽電池
【基金】：天津市科技發(fā)展計劃項目(No．06YFGZGX02100) 教育部光電子信息技術科學重點實驗室開放課題(No．2005-18) 南開大學博士啟動基金(No．J02033)
【分類號】：TM914
【正文快照】： 1引言在眾多太陽能電池技術中，單晶硅太陽能電池技術最為成熟，目前在大規(guī)模應用和工業(yè)生產中，單晶硅太陽能電池仍占主導地位川，但是由于受到單晶硅材料價格以及電池工藝繁瑣的影響，單晶硅成本居高不下。相對而言，硅基薄膜太陽能電池制備工藝簡單、材料成本低、便于大面

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