磁控濺射制備Ti-O-N選擇性太陽(yáng)能吸收涂層

【摘要】：太陽(yáng)能集熱器是太陽(yáng)能熱水器的核心部件,平板集熱器可以作為建筑材料與建筑完美融合,滿(mǎn)足城市對(duì)太陽(yáng)能的利用與建筑一體化的要求.本論文用中頻磁控濺射技術(shù)制備用于平板集熱器的Ti-O-N選擇性吸收涂層.用XRD、SEM及紅外反射測(cè)試研究工藝參數(shù)對(duì)吸收涂層結(jié)晶質(zhì)量、形貌及反射率的影響.設(shè)置鍍膜過(guò)程中氣壓分別為0.8Pa、1.2Pa和2.0Pa而其他參數(shù)不變,制備出不同氣壓條件下的Ti-O-N選擇性吸收涂層,通過(guò)分析樣品的表面形貌及紅外反射率來(lái)研究鍍膜過(guò)程中氣壓對(duì)涂層質(zhì)量的影響.實(shí)驗(yàn)表明,氣壓越低,所鍍的薄膜顆粒越致密均勻,薄膜表面越光滑,薄膜的集熱效率越高,即涂層的質(zhì)量越好. 【作者單位】： 嶺南師范學(xué)院物理科學(xué)與技術(shù)學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 中頻磁控濺射 真空鍍膜 集熱器 Ti-O-N選擇性吸收薄膜
【基金】：湛江市科技計(jì)劃支持項(xiàng)目(201010101)
【分類(lèi)號(hào)】：TK513.1;TB383.2
【正文快照】： 1引言太陽(yáng)能光譜選擇性吸收薄膜是太陽(yáng)能光熱轉(zhuǎn)換中極為重要的關(guān)鍵材料,它直接影響著太陽(yáng)能熱水器的集熱效率和生產(chǎn)成本.作為光熱轉(zhuǎn)換材料,一方面要求對(duì)太陽(yáng)能的吸收越多越好,另一方面要求發(fā)出的熱輻射越少越好,也就是說(shuō)要有一定的選擇性.選擇性薄膜的吸收光譜與太陽(yáng)發(fā)射光譜

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