Zn_(1-x)Mg_xO薄膜和ZnO:Al/Si異質(zhì)結(jié)的制備及光伏特性的研究
Zn_(1-x)Mg_xO薄膜和ZnO:Al/Si異質(zhì)結(jié)的制備及光伏特性的研究【摘要】:ZnO是一種II-Ⅳ族直接帶隙寬禁帶半導(dǎo)體,摻入Mg形成三元合金Zn1-xMgxO,其禁帶寬
【學(xué)位授予單位】:廣東工業(yè)大學(xué)
【學(xué)位級別】:碩士
【學(xué)位授予年份】:2012
【分類號】:TN304.055
【目錄】:
- 摘要4-6
- ABSTRACT6-9
- 目錄9-12
- CONTENT12-15
- 第一章 緒論15-26
- 1.1 ZnO的結(jié)構(gòu)和性質(zhì)15-21
- 1.1.1 ZnO的晶體結(jié)構(gòu)15-16
- 1.1.2 ZnO的能帶結(jié)構(gòu)16-17
- 1.1.3 ZnO的缺陷及摻雜17-19
- 1.1.4 ZnO的基本性質(zhì)19-21
- 1.2 太陽能電池概述21-24
- 1.2.1 太陽能電池發(fā)展現(xiàn)狀21-23
- 1.2.2 太陽能電池分類23-24
- 1.3 本文研究的目的與內(nèi)容24-26
- 第二章 磁控濺射法制備薄膜及其檢測26-35
- 2.1 薄膜的制備26-31
- 2.1.1 磁控濺射法的原理及特點26-29
- 2.1.2 薄膜的制備29-31
- 2.2 薄膜的表征方法31-35
- 2.2.1 X射線衍射(XRD)31-32
- 2.2.2 掃描電子顯微鏡(SEM)32-33
- 2.2.3 熒光光譜儀33
- 2.2.4 紫外-可見-分光光度計33-35
- 第三章 磁控濺射法制備Zn_(1-x)Mg_xO薄膜及其結(jié)構(gòu)性能的研究35-45
- 3.1 Zn_(1-x)Mg_xO薄膜的制備35
- 3.2 Zn_(1-x)Mg_xO薄膜結(jié)構(gòu)和性能的分析35-40
- 3.2.1 XRD譜及分析35-37
- 3.2.2 SEM圖及分析37-38
- 3.2.3 透射光譜及分析38-39
- 3.2.4 光致發(fā)光譜及分析39-40
- 3.3 退火對Zn_(1-x)Mg_xO薄膜結(jié)構(gòu)和性能的影響40-44
- 3.3.1 XRD譜及分析40-41
- 3.3.2 SEM圖及分析41-42
- 3.3.3 透射光譜及分析42-43
- 3.3.4 光致發(fā)光譜及分析43-44
- 3.4 本章小結(jié)44-45
- 第四章 ZAO/Si異質(zhì)結(jié)電池的制備45-56
- 4.1 太陽能電池轉(zhuǎn)換機理45-48
- 4.2 太陽能電池性能表征48-51
- 4.3 ZAO/Si異質(zhì)結(jié)電池的制備51-55
- 4.3.1 Si基片絨而的制備51-53
- 4.3.2 濺射n型ZAO薄膜形成p-n結(jié)53
- 4.3.3 金屬電極的制備53-55
- 4.4 本章小結(jié)55-56
- 第五章 ZAO/Si異質(zhì)結(jié)生長條件的優(yōu)化56-71
- 5.1 襯底溫度56-63
- 5.1.1 XRD譜及分析56-57
- 5.1.2 SEM圖及分析57-59
- 5.1.3 電池性能分析59-63
- 5.2 氧氬比63-66
- 5.2.1 XRD譜及分析63-64
- 5.2.2 SEM圖及分析64-65
- 5.2.3 電池性能分析65-66
- 5.3 濺射功率66-70
- 5.3.1 XRD譜及分析67
- 5.3.2 SEM圖及分析67-68
- 5.3.3 電池性能分析68-70
- 5.4 本章小結(jié)70-71
- 結(jié)論71-74
- 論文創(chuàng)新點73
- 有待進一步開展的工作73-74
- 參考文獻74-79
- 攻讀碩士期間發(fā)表的論文79-81
- 致謝81
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