新型MEMS技術(shù)用于下一代光伏

【摘要】：跨產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新包括在徹底革新進程中的創(chuàng)造性模仿。本文將討論從微機電系統(tǒng)(MEMS)產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)移到光伏產(chǎn)業(yè)的一例成功技術(shù)應用。 【作者單位】： Executive
【關(guān)鍵詞】： 光伏產(chǎn)業(yè) 產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新 微機電系統(tǒng) 晶圓 光刻膠 制造技術(shù) 半導體器件 光伏技術(shù) 鍵合機 吞吐量
【分類號】：F416.6
【正文快照】： MEMS產(chǎn)業(yè)的特點是可以針對不同種類的應用采用高度多樣化、非標準化的工藝,而進入不同的市場。因此,成功進入市場的MEMS技術(shù)一定具有靈活多變的特點,因此也可用于其他跨產(chǎn)業(yè)的創(chuàng)新。MEMS技術(shù)已被用于微電子產(chǎn)業(yè)的其他分支,例如先進的封裝和半導體器件中的3-D集成電路,事實證

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