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熱光伏系統(tǒng)中ITO薄膜濾波器的設(shè)計(jì)與制備

來源:論文學(xué)術(shù)網(wǎng)
時(shí)間:2024-08-19 02:14:10
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熱光伏系統(tǒng)中ITO薄膜濾波器的設(shè)計(jì)與制備【摘要】:氧化銦錫(ITO)半導(dǎo)體薄膜為典型的寬禁帶半導(dǎo)體材料,具有短波高透射、長波高反射以及超寬的反射帶等特性,滿足熱光伏(TPV)系統(tǒng)對

【摘要】:氧化銦錫(ITO)半導(dǎo)體薄膜為典型的寬禁帶半導(dǎo)體材料,具有短波高透射、長波高反射以及超寬的反射帶等特性,滿足熱光伏(TPV)系統(tǒng)對濾波器的要求。以載流子濃度N和遷移率μ以及膜層厚度d為參數(shù),對ITO薄膜的光學(xué)性質(zhì)進(jìn)行了仿真,給出了在不同參數(shù)下濾波器的光譜曲線。通過磁控濺射薄膜沉積系統(tǒng)制備了ITO薄膜,對退火處理后的濾波器進(jìn)行了光學(xué)性能測試,最終得到可用于熱光伏系統(tǒng)的ITO薄膜濾波器。制備的與GaSb電池匹配的濾波器截止波長為2μm,短波平均透射率接近70%,長波平均反射率接近70%,而且超寬的長波反射帶延伸至10μm,可大大提高TPV系統(tǒng)的效率。 【作者單位】: 上??臻g電源研究所;
【關(guān)鍵詞】薄膜 半導(dǎo)體薄膜 薄膜濾波器 磁控濺射 退火 熱光伏系統(tǒng)
【分類號】:TN713;TN304
【正文快照】: 1引言熱光伏(TPV)技術(shù)[1-4]是一種將高溫輻射能通過光電池轉(zhuǎn)化成電能的技術(shù)。光學(xué)濾波器是TPV系統(tǒng)中一個(gè)關(guān)鍵的組成部分,其主要作用是將不能轉(zhuǎn)化成電能的紅外輻射反射回輻射器重新利用,減輕光電池的熱負(fù)擔(dān),從而提高系統(tǒng)效率,因此光學(xué)濾波器直接影響到熱光伏系統(tǒng)的轉(zhuǎn)換效率。Vi

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