硅基納米金屬光刻蝕結(jié)構(gòu)的側(cè)向光伏效應(yīng)

【摘要】：研究目的是探索半導(dǎo)體異質(zhì)結(jié)構(gòu)下的新型光電效應(yīng),為位置靈敏傳感器的設(shè)計(jì)提供新思路.利用磁控濺射鍍膜技術(shù)在P型硅基襯底上生長(zhǎng)N型Cr金屬薄膜,從而得到Cr/SiO/Si的硅基納米金屬異質(zhì)結(jié)構(gòu).使用納米光刻蝕技術(shù)在金屬層上按照設(shè)計(jì)的條紋圖形進(jìn)行光刻蝕加工,得到硅基納米金屬光刻蝕結(jié)構(gòu).在對(duì)結(jié)構(gòu)進(jìn)行I-V特性測(cè)量的過(guò)程中發(fā)現(xiàn)側(cè)向光伏效應(yīng).使用635nm,功率5mW激光器時(shí),其側(cè)向光伏效應(yīng)的最大靈敏度為4.844mV·mm-1,并且線(xiàn)性度較好. 【作者單位】： 防化研究院;東北師范大學(xué);上海交通大學(xué);
【關(guān)鍵詞】： 磁控濺射 納米光刻蝕 半導(dǎo)體異質(zhì)光伏效應(yīng)結(jié)構(gòu) 側(cè)向光伏效應(yīng)
【分類(lèi)號(hào)】：TN305.7
【正文快照】： 光伏效應(yīng)特指當(dāng)光照射在物上時(shí),在物體上出現(xiàn)外電壓的特殊現(xiàn)象.通常我們將光伏相應(yīng)分為2類(lèi),即縱向光伏效應(yīng)與側(cè)向光伏效應(yīng).側(cè)向光伏效應(yīng)稱(chēng)為T(mén)he Lateral photovolatic effect,簡(jiǎn)稱(chēng)LPE.當(dāng)點(diǎn)光源照射在半導(dǎo)體P-N上,半導(dǎo)體體制結(jié),金屬半導(dǎo)體結(jié)上時(shí),利用其結(jié)構(gòu)同一表面引出2個(gè)電極

您可以在本站搜索以下學(xué)術(shù)論文文獻(xiàn)來(lái)了解更多相關(guān)內(nèi)容

光折變效應(yīng)中的光伏效應(yīng)與擴(kuò)散機(jī)制    張靜江，曹惠賢

光伏型光電式傳感器的頻率特性    陳淑杰,李桂成,盧長(zhǎng)剛,李娟

描述光伏效應(yīng)的新解析模型    江厚滿(mǎn),程湘愛(ài)

光伏新技術(shù)為半導(dǎo)體薄膜發(fā)電帶來(lái)新動(dòng)力    鄒勉;

鐵電材料光伏效應(yīng)調(diào)控研究獲進(jìn)展    

Ge_xSi_(1-x)/Si應(yīng)變層超晶格光伏特性研究    朱文章,劉士毅

Sc,Gd和Lu-配合物的有機(jī)電致發(fā)光及光伏特性研究    王丹;李文連;初蓓;蘇子生;李天樂(lè);蘇文明;朱健卓;畢德峰;陳一仁;楊棟芳;張東煜;顏飛;

e-偏振非相干均勻背景光照射下光伏光折變晶體中的開(kāi)路空間亮孤子(英文)    侯春風(fēng),姜永遠(yuǎn),唐任敏,袁保紅,孫秀冬

ZnO/p-Si異質(zhì)結(jié)的光電轉(zhuǎn)換特性    段理,林碧霞,傅竹西,蔡俊江,張子俞

GaAs多量子阱超晶格表面激光光伏效應(yīng)    王德煌,王威禮,王恩哥,周小川

摻Cr和摻Pr的Bi_4Ge_3O_(12)晶體的線(xiàn)性光伏效應(yīng)    馮錫淇;胡關(guān)欽;程朝陽(yáng);殷之文;

納米TiO_2薄膜紫外吸收特性的研究    鄒博;吳鳳清;阮圣平;鄒樂(lè)輝;王竹儀;劉彩霞;甘勇;徐寶琨;

國(guó)內(nèi)空間光伏應(yīng)用現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢(shì)    唐則祁;李國(guó)欣;陳鳴波;

多孔硅光伏特性的研究    李旦振;陳順玉;付賢智;

球烯與過(guò)渡金屬酞菁電荷遷移復(fù)合物光電性能的研究    陳再鴻;李娟;林俊;

有偏壓光伏光折變晶體中空間孤子的研究    盧克清;趙衛(wèi);楊延龍;李金萍;

薄膜太陽(yáng)電池發(fā)展概況    孫云;

光伏照明的最佳光源——小功率陶瓷金鹵燈    楊正名;張明;高光義;柴國(guó)生;

富勒烯雙齒瞵配合物C_(60)Pt(dppb)的合成與光電性能    吳振奕;覃世輝;程大典;王曄;鄧小雙;

“太陽(yáng)能光伏非碳冶金”基礎(chǔ)研究    吳華峰;李士琦;朱榮;王玉剛;劉潤(rùn)藻;

具有光伏效應(yīng)和電致發(fā)光雙重功能的器件    

北京奧運(yùn)建筑部分用電直取“今日陽(yáng)光”    本報(bào)記者 朱廣菁

科技奧運(yùn)成果展先睹為快    本報(bào)記者 張超 實(shí)習(xí)記者 朱舜楠

揭秘太陽(yáng)能電池    中國(guó)科技館 李春才

去年向天追陽(yáng)“掘金”8億元    諶達(dá)軍

我市八成航標(biāo)燈自己“來(lái)電”    記者 王元暉　通訊員 李春妮

上海加速尋找替代能源    見(jiàn)習(xí)記者 鄭盎

黑龍江省首個(gè)低碳環(huán)保太陽(yáng)能發(fā)電項(xiàng)目啟動(dòng)    特約記者 吳金良

太陽(yáng)能產(chǎn)業(yè)風(fēng)光背后的玄機(jī)    王佑

中國(guó)可再生能源發(fā)展項(xiàng)目獲國(guó)際可持續(xù)能源獎(jiǎng)    葛秋芳

新型聚對(duì)苯乙炔（PPV）衍生物的合成及其在發(fā)光二極管和太陽(yáng)電池中的應(yīng)用研究    黃艷

穩(wěn)態(tài)光折變空間光孤子的研究    李金萍

聚合物太陽(yáng)能電池機(jī)理及實(shí)驗(yàn)研究    李衛(wèi)民

有偏壓的光伏光折變晶體中空間孤子的研究    盧克清

空間屏蔽光伏孤子的演化和自偏轉(zhuǎn)特性研究    張都應(yīng)

低能隙聚合物太陽(yáng)電池材料的設(shè)計(jì)合成與性質(zhì)研究    吳江勇

金屬氧化物半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)中側(cè)向光伏與磁電阻的共存研究    肖少慶

半導(dǎo)體應(yīng)變和極化誘導(dǎo)能帶工程及其動(dòng)力學(xué)輸運(yùn)研究    傅德頤

鈣鈦礦結(jié)構(gòu)錳氧化物薄膜和異質(zhì)結(jié)輸運(yùn)性質(zhì)及其光誘導(dǎo)效應(yīng)研究    盛志高

光折變空間光孤子及其誘導(dǎo)光波導(dǎo)的理論和實(shí)驗(yàn)研究    張美志

金屬有機(jī)半導(dǎo)體復(fù)合薄膜的橫向光伏效應(yīng)    劉文明

有機(jī)半導(dǎo)體復(fù)合薄膜的輸運(yùn)性質(zhì)和橫向光伏效應(yīng)    張巖

有機(jī)稀土配合物電致發(fā)光和光伏效應(yīng)的研究    王麗輝

多孔硅光伏效應(yīng)的研究    向梅

光折變空間光孤子瞬時(shí)狀態(tài)的研究    張磊

共價(jià)鍵連富勒烯苯基卟啉化合物的合成、表征與光電性能研究    陳昕

穩(wěn)態(tài)矢量空間光弧子及調(diào)制不穩(wěn)定性的研究    朱香平

熒光探針聚合物微凝膠及聚合物太陽(yáng)能電池材料    辛淵蓉

CdS/CdTe太陽(yáng)能電池及其制備    彭斌

富勒烯—膦金屬配合物的合成、表征及光電性能研究    覃世輝