預(yù)試環(huán)中H_2及摻雜甲烷的輝光放電清洗

【摘要】：本文給出了在預(yù)試環(huán)中產(chǎn)生和維持輝光放電的基本參數(shù)、氫氣(H_2)及氫氣摻雜甲烷(H_2/CH_4)輝光放電清洗過程中的質(zhì)譜分析結(jié)果以及氫氣輝光放電清洗處理后的樣品表面SIMS(二次離子質(zhì)譜)結(jié)果,并進(jìn)行了討論。 【作者單位】： 西南物理研究所
【關(guān)鍵詞】： 輝光放電清洗 質(zhì)譜分析 SIMS分析
【正文快照】： 一、引言 H:輝光放電能有效地清除環(huán)流器真空器壁的碳,H汀CH‘輝光放電能有效地清除’氧.近年來,很多環(huán)流器采用輝光放電作為清洗鍛煉真空室的手段。預(yù)試環(huán)中的輝光放電清洗實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn),限流電阻的大小對(duì)輝光放電的產(chǎn)生和維持起著關(guān)鍵的作用,且對(duì)放電時(shí)的氣壓范圍影響甚大。H:輝

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