硅甲烷CARS光譜的研究

【摘要】：測(cè)量和分析了硅甲烷(SiH_4)v_1帶和v_3帶的CARS光譜,并采用偏振CARS技術(shù),解除了v_1帶的影響,獲得了完全的v_3帶的CARS譜.偏振測(cè)量和理論模擬計(jì)算給出了v_1帶和v_3帶Q支峰值間的頻率位移及兩者喇曼躍遷截面平方的比值. 【作者單位】： 復(fù)旦大學(xué)物理系 復(fù)旦大學(xué)物理系 復(fù)旦大學(xué)物理系 復(fù)旦大學(xué)物理系 復(fù)旦大學(xué)物理系
【關(guān)鍵詞】： 相干反斯托克斯喇曼光譜學(xué) 硅甲烷 分子光譜學(xué) 偏振技術(shù)
【正文快照】： 近年來(lái),用Sill4RF‘分解沉積制備硅薄膜已廣泛應(yīng)用于微電子工業(yè)。為有效地控制薄膜質(zhì)量,對(duì)其沉積過(guò)程的研究引起了人們的重視。相干反斯托克斯喇曼光譜(簡(jiǎn)稱0ARS)技術(shù)由于其信號(hào)的類激光特性和高的空間分辨率,以及受光亮背景的干擾較小,已被應(yīng)用于CVD過(guò)程的診斷Ⅱ一。為了正

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