硅甲烷射頻放電分解動(dòng)力學(xué)的CARS光譜研究

【摘要】：應(yīng)用相干反斯托克斯喇曼光譜(CARS)技術(shù)對(duì)硅甲烷(SiH_4)的射頻放電分解進(jìn)行在位診斷.基于硅甲烷v_1振動(dòng)模CARS信號(hào)強(qiáng)度的變化,研究了SiH_4-H_2及SiH_4-N_2體系中射頻功率及總氣壓對(duì)硅甲烷分解速率的影響.此外,還用CARS方法檢測(cè)硅甲烷分解的中間產(chǎn)物,得到信噪比較好的光譜,并試作了初步歸屬. 【作者單位】： 復(fù)旦大學(xué)物理系 復(fù)旦大學(xué)物理系 復(fù)旦大學(xué)物理系 復(fù)旦大學(xué)核科學(xué)系
【關(guān)鍵詞】： 相干反斯托克斯-喇曼光譜(CARS) 化學(xué)氣相淀積 硅甲烷 射頻放電
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(編號(hào)2860127)資助
【正文快照】： 一、引 言 激光光譜技術(shù)的發(fā)展使化學(xué)反應(yīng)動(dòng)力學(xué)的研究進(jìn)人了一個(gè)嶄新階段,在宏觀反應(yīng)速率的無干擾測(cè)定,低濃度不穩(wěn)定中間產(chǎn)物的檢測(cè)及微觀反應(yīng)動(dòng)力學(xué)研究方面都已得到廣泛應(yīng)用,在硅烷化學(xué)氣相淀積動(dòng)力學(xué)研究中近幾年也取得很大進(jìn)展””’。O’B14en等用腔內(nèi)吸收光譜原位(ined

您可以在本站搜索以下學(xué)術(shù)論文文獻(xiàn)來了解更多相關(guān)內(nèi)容

高功率射頻波導(dǎo)CO_2激光器    D.He;C.J.Baker;D.R.Hall;

射頻激勵(lì)二氧化碳金屬波導(dǎo)激光器    虞鋼;

射頻激勵(lì)氣體波導(dǎo)激光器    虞鋼;

銣原子射頻放電光電流光譜研究    鐘旭濱,劉金廷,劉炳模

激光光譜測(cè)量    

高效射頻激勵(lì)CO_2激光器    陳煥林;

射頻放電型激光波長(zhǎng)定標(biāo)器    朱祝彪;嚴(yán)光耀;鄭一善;

硅甲烷CARS光譜的研究    虞海平,金耀根,周萍,李郁芬,吳征鎧

放電管內(nèi)銣原子光電流特性及強(qiáng)度的徑向分布    鐘旭濱,劉炳模,劉金廷,王天眷

激光誘導(dǎo)熒光方法對(duì)SiH_4N_2混合氣體放電等離子體的研究    吳嘉達(dá),伍長(zhǎng)征,李富銘

金屬弧源反應(yīng)沉積氧化鈦薄膜及其性能研究    冷永祥;陳俊英;楊蘋;孫鴻;王進(jìn);萬國(guó)江;黃楠;

射頻消融術(shù)的心肌損傷及其中醫(yī)藥保護(hù)措施探討    王姍姍;張文高;

阿司匹林在射頻消融術(shù)中對(duì)血小板活性的影響    陶貴周;王高頻;

嚴(yán)格質(zhì)量控制對(duì)AVNRT射頻消融結(jié)果的影響    張鋒;孟偉棟;陳崗;汪芳;孫寶貴;

射頻輝光放電自偏壓對(duì)類金剛石碳膜結(jié)構(gòu)和性能的影響    楚信譜;茍偉;李國(guó)卿;柳翠;

大氣壓射頻放電中N_2、O_2粒子間相互作用數(shù)值模擬    霍純青;劉福平;陳強(qiáng);

塵埃等離子體的電磁波散射研究及雙探針實(shí)驗(yàn)    趙捷

射頻激勵(lì)折疊腔波導(dǎo)CO_2激光器的研究    張小強(qiáng)

熱絲化學(xué)氣相沉積金剛石膜的研究    孫心瑗

冷等離子體裂解甲烷制C_2烴的實(shí)驗(yàn)研究及動(dòng)力學(xué)模擬    何方方

電激勵(lì)單重態(tài)氧發(fā)生器的研究    李國(guó)富

電光調(diào)Q及腔倒空射頻激勵(lì)波導(dǎo)CO_2激光器    楊澤后

若干等離子體現(xiàn)象的粒子模擬    張兆吉

射頻離子源研制及引出系統(tǒng)數(shù)值模擬    馬利民

低溫等離子體放電過程的數(shù)值模擬    胡慶

射頻容性耦合等離子體物理特性的PIC/MCC模擬研究    肖允庚