氦中四氟甲烷、氧化亞氮和六氟化硫混合氣體標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的研制

【摘要】：論述了氦中四氟甲烷、氧化亞氮和六氟化硫混合氣體標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的制備方法、性能考察、不確定度計(jì)算,經(jīng)與國內(nèi)外同類標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)比較,證明量值準(zhǔn)確可靠、方法可行。 【作者單位】： 中國石油西南油氣田分公司成都天然氣化工總廠
【關(guān)鍵詞】： 氦 四氟甲烷 氧化亞氮 六氟化硫 混合氣體 標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì) 不確定度 比對(duì)分析
【分類號(hào)】：TQ117
【正文快照】： 1前言在微電子、光電子器件生產(chǎn)過程中,從芯片的生長到最后器件的封裝,其外延、成膜、摻雜、蝕刻、清洗等工序都離不開電子氣體。而電子氣體的質(zhì)量在很大程度上決定了半導(dǎo)體器件性能的好壞,因此對(duì)所用電子氣體的質(zhì)量進(jìn)行控制顯得尤為重要[1]。為了分析含氟系列電子氣體,需使

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