基于MEMS可編程光柵檢測(cè)甲烷的研究

【摘要】：介紹了基于微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)的微型可編程光柵的光學(xué)特性。分析了可通過對(duì)可編程光柵編程狀態(tài)的預(yù)先設(shè)定,使其衍射輸出對(duì)應(yīng)于不同目標(biāo)物質(zhì)的光譜。提出了一種全新的基于微型可編程光柵的相關(guān)光譜法檢測(cè)甲烷的方法。實(shí)驗(yàn)表明,該方法不僅可對(duì)多種氣體成分進(jìn)行檢測(cè),而且有很高檢測(cè)精度,并具備傳統(tǒng)檢測(cè)方法無法比擬的優(yōu)點(diǎn)。 【作者單位】： 遼寧工程技術(shù)大學(xué)電氣與控制工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： MEMS 可編程光柵 模擬光譜 相關(guān)光譜 甲烷
【基金】：遼寧省高校創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)項(xiàng)目(2007T074)
【分類號(hào)】：TP274
【正文快照】： 0引言甲烷作為重要的易燃易爆氣體,是許多工礦企業(yè)產(chǎn)生或消耗氣體混合物的主要成分[1],對(duì)它實(shí)現(xiàn)全光學(xué)可靠遙測(cè)和監(jiān)控有重要意義。目前,基于光學(xué)和光譜學(xué)的氣體監(jiān)測(cè)技術(shù)(代表技術(shù)有差分吸收光譜技術(shù)[2]和相關(guān)光譜技術(shù)[3]),因其具有不易受干擾、靈敏度高、響應(yīng)速度快等特性而

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