優(yōu)質(zhì)納米晶硅薄膜的低溫制備技術(shù)及其在太陽能電池中的應(yīng)用進(jìn)展

【摘要】：納米晶硅薄膜是集晶體硅材料和氫化非晶硅薄膜優(yōu)點(diǎn)于一體,可望廣泛應(yīng)用于薄膜太陽能電池、光存儲器、發(fā)光二極管和薄膜晶體管等光電器件的一種新型功能材料.本文綜述低溫制備優(yōu)質(zhì)納米晶硅薄膜技術(shù)的研究進(jìn)展及其在薄膜硅太陽能電池上的應(yīng)用. 【作者單位】： 韓山師范學(xué)院物理與電子工程系;汕頭大學(xué)物理系;
【關(guān)鍵詞】： 納米晶硅薄膜 太陽能電池 低溫制備 進(jìn)展
【基金】：韓山師范學(xué)院青年科研基金資助項(xiàng)目(0503)
【分類號】：TB383.1
【正文快照】： 納米晶硅(nc-Si:H)薄膜就是硅的納米晶粒鑲嵌在a-Si:H網(wǎng)絡(luò)里的一種硅納米結(jié)構(gòu).由于它具有較高的電導(dǎo)率(10-3~10-1Ω-1·cm-1)、寬帶隙、高光敏性、高光吸收系數(shù)等優(yōu)良的光電特性而引起學(xué)術(shù)界的重視.納米晶硅薄膜同時具備寬帶隙和高電導(dǎo)這兩種太陽能電池窗口材料所需的優(yōu)良性質(zhì)

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