CIGS太陽能電池緩沖層ZnS薄膜的制備與表征

【摘要】：以硫酸鋅、(NH4)2S2O3混合溶液為前驅(qū)體溶液,加入少量的檸檬酸鈉和丙三醇為絡(luò)合劑和分散劑,采用化學(xué)浴沉積法在玻璃襯底上成功制備了表面均勻的ZnS薄膜。研究了沉積時間和退火時間對ZnS薄膜質(zhì)量的影響,并運用掃描電鏡(SEM)、X射線衍射(XRD)、紫外-可見光光度計對薄膜進(jìn)行分析和表征。結(jié)果表明:在沉積時間為90m in,退火溫度為200℃時制得的薄膜性能較好,晶體結(jié)構(gòu)為纖鋅礦結(jié)構(gòu)。制備的薄膜透過率(λ400nm)約為80%,薄膜的禁帶寬度約為3.75eV。通過添加少量的分散劑丙三醇可以改善ZnS薄膜質(zhì)量。退火溫度為300℃,薄膜表面形貌均勻致密。 【作者單位】： 北京科技大學(xué)材料學(xué)院 北京科技大學(xué)材料學(xué)院 北京科技大學(xué)材料學(xué)院 無錫愛芯科微電子有限公司
【關(guān)鍵詞】： ZnS薄膜 化學(xué)浴沉積法 X射線衍射 紫外-可見光光度計
【分類號】：TM914.4
【正文快照】： 0引言ZnS是具有3.65eV禁帶寬度的本征半導(dǎo)體[1]。兼有閃鋅礦(面心立方結(jié)構(gòu)即β-ZnS)和纖鋅礦(六方結(jié)構(gòu)即α-ZnS)兩種結(jié)構(gòu)[2]。在銅銦鎵硒(簡稱CIGS)電池中充當(dāng)緩沖層,是制作薄膜太陽電池的優(yōu)良材料。目前在太陽能薄膜電池中廣泛應(yīng)用的緩沖層是硫化鎘(CdS)。但是作為過渡層的Cd

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