甲烷濃度對CVD多晶金剛石薄膜孿晶的影響

【摘要】：利用掃描電鏡、X射線衍射和電子背散射衍射研究了CVD自支撐金剛石薄膜的表面形貌組織、織構(gòu)和晶界分布。研究表明:金剛石薄膜制備氣氛純度較低,造成薄膜中存在較多孿晶。沉積氣體中甲烷濃度升高,孿晶發(fā)生頻率增加,孿晶對織構(gòu)組分的影響程度增加。高頻率孿晶使薄膜中{100}織構(gòu)轉(zhuǎn)變?yōu)閧122}織構(gòu),但沒有觀察到明顯的{511}和{411}孿晶織構(gòu),說明孿晶取向的變化具有一定的選擇性。 【作者單位】： 河南科技大學材料科學與工程學院;有色金屬共性技術(shù)河南省協(xié)同創(chuàng)新中心;
【關(guān)鍵詞】： 金剛石薄膜 甲烷濃度 孿晶 織構(gòu) 電子背散射衍射
【基金】：河南省高?？萍紕?chuàng)新團隊支持計劃資助項目(2012IRTSTHN008) 河南科技大學博士科研啟動基金(09001233)資助項目 河南科技大學SRTP資助項目(2012036)
【分類號】：TB383.2
【正文快照】： CVD金剛石薄膜是一種具有多種優(yōu)異性能的功能材料[1-3]。目前,金剛石薄膜制備技術(shù)已經(jīng)有了巨大的進展[1-4],人們在嚴格的制備工藝條件下已經(jīng)能夠沉積出較高質(zhì)量的金剛石薄膜[3-6]。孿晶是多晶金剛石薄膜沉積過程中經(jīng)常發(fā)生的一種晶體缺陷[7-9],會造成晶體取向的改變,但孿晶母

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