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硅棒質(zhì)量如何判斷?單晶拉棒斷棱是怎樣形成的?
硅棒質(zhì)量如何判斷?單晶拉棒斷棱是怎樣形成的?:在單晶拉棒過程中,斷棱是對硅棒質(zhì)量是否有問題,最基礎的判斷因素之一。本文整理幾種常見的導致斷棱原因判斷方法,以便硅棒生產(chǎn)管理人員更好的
:在單晶拉棒過程中,斷棱是對硅棒質(zhì)量是否有問題,最基礎的判斷因素之一。本文整理幾種常見的導致斷棱原因判斷方法,以便硅棒生產(chǎn)管理人員更好的分析原因。
1 拆裝爐
a)由于爐膛內(nèi)壁打掃不干凈,在拉晶的過程中揮發(fā)物被氬氣吹入堝中隨時會斷棱,判斷的依據(jù)是當有大顆粒雜質(zhì)掉入堝內(nèi)時會在單晶棒上留下痕跡。小顆粒揮發(fā)物掉入堝內(nèi)時在單晶棒上不會留下痕跡,所以要打開副室或等到拆爐后檢查爐膛內(nèi)壁是否有不干凈的痕跡,一般四條棱線不一起斷。
b)重錘打掃不干凈,在拉晶的過程中重錘上的揮發(fā)物被氬氣吹入堝內(nèi)隨時會斷棱,一般四條棱線不一起斷。
c)石墨件打掃不干凈。在拉晶的過程中石墨件上的揮發(fā)物或石墨粉被氬氣吹入堝內(nèi)隨時會斷線,一般四條棱線不一起斷。
d)在拉晶過程中由于清掃不干凈、管道堵塞排氣不暢、揮發(fā)物不能及時排出,形成小顆粒落入熔體中,導致斷棱,一般四條棱線不一起斷。
2 拉晶工
a)引晶質(zhì)量不好未完全消除位錯,在放肩或等徑350mm以內(nèi)會斷棱,一般對角兩條棱線先斷。
b)在等徑過程中溫度控制不好,或等徑參數(shù)設置不好等因素會導致晶體斷棱,四條棱一起斷。
c)溫度波動太厲害引起斷棱,一般是四條棱線一起斷。
3 熱場性能差
a)熔硅溫度的起伏和單晶生長速率的起伏,可以引起結(jié)晶界面上原子振動的變化,使原子排列偏離點陣,產(chǎn)生晶格畸變,形成位錯,一般是四條棱線一起斷。
b)生長系統(tǒng)的熱場決定著單晶內(nèi)部的溫度梯度,如果單晶生長動力小,硅原子強烈的振動使生長界面附近產(chǎn)生位錯,單晶內(nèi)部如果徑向溫度梯度較大,單晶各微區(qū)的熱膨脹率不同。晶體表面溫度低,膨脹率小,中間溫度高,膨脹率大。因此單晶表面受到擴張的應力,內(nèi)部受到壓縮應力,易生產(chǎn)位錯,一般是四條棱線一起斷。
4 原料質(zhì)量差會引起斷棱
a)硅多晶內(nèi)雜質(zhì)濃度過高,在拉晶過程中,石英坩堝四周容易爬硅。單晶等徑困難,一般是四條棱線一起斷。
b)硅多晶內(nèi)雜質(zhì)濃度過高,一般在單晶尾部易引起斷棱,四條棱線一般不一起斷。
5 設備原因引起的斷棱
a)晶體在生長時,如果受到機械震動,產(chǎn)生機械應力,晶格的結(jié)點會發(fā)生畸變,生成新位錯,一般四條棱線一起斷。
6 收尾斷棱
a)溫度波動太厲害引起斷棱,一般是四條棱線一起斷。
b)原料內(nèi)雜質(zhì)濃度過高,四條棱線一般不一起斷。
7 共震引起的斷棱
一般四條棱線一起斷,震動厲害會使單晶棒晃斷。
對于復雜的生產(chǎn)過程來說,過程管控嚴重影響著/產(chǎn)能/品質(zhì)/成本?!肮璋羯a(chǎn)過程,哪兒可能會出問題?哪兒就一定會出問題?!?/p>
原標題:硅棒質(zhì)量如何判斷?單晶拉棒斷棱是怎樣形成的?
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