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太陽能多晶硅片表面線狀缺陷的形貌特征及形成原因【摘要】：研究了定向凝固生長的多晶硅線切割過程中在多晶硅片表面產(chǎn)生的線狀缺陷的形貌特征及其形成機制。分別采用掃描電子顯微技術(shù)和X射線衍

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太陽能多晶硅鑄錠用石英坩堝氮化硅涂層的免燒工藝【摘要】：本文介紹一種太陽能多晶硅片生產(chǎn)過程中,噴涂坩堝免焙燒的工藝,即在氮化硅漿料中加入少許水溶性有機物(粘結(jié)劑、防潮劑、分散劑),