太陽能電池片去PSG工藝是什么

【專家解說】：PSG（Phospho Silicate Glass） 是磷硅玻璃的意思，在太陽能電池片的擴(kuò)散工藝后，硅片表面會(huì)形成一層PSG，必須去除。 擴(kuò)散原理： POCl3在高溫600℃下分解，產(chǎn)生P2O5和PCl5,然后2P2O5 +5Si—— 5SiO2 +4P，這樣生成的P就可以擴(kuò)散到硅片里，實(shí)現(xiàn)P摻雜。在擴(kuò)散中，我們還比通入足夠的氧氣，這樣PCl5和氧氣反應(yīng)，生成P2O5和Cl2，從而避免產(chǎn)生的PCl5對(duì)硅片的不利影響。 通過反應(yīng)可以發(fā)現(xiàn)，在實(shí)現(xiàn)P摻雜的同時(shí)，在硅片表面還會(huì)有二氧化硅和五氧化二磷，所謂的PSG，通過氫氟酸溶液洗去。