急:非晶硅薄膜太陽能電池生產(chǎn)要用到哪些特氣?
來源：新能源網(wǎng)
時間：2024-08-17 14:20:59
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急:非晶硅薄膜太陽能電池生產(chǎn)要用到哪些特氣?【專家解說】：P層:硅烷、硼烷、甲烷、氫氣。
I層:硅烷、氫氣。
N層:硅烷、磷烷、氫氣。
清洗吹掃腔體用氬氣、三氟化氮、氫氣等。
破空
【專家解說】：P層:硅烷、硼烷、甲烷、氫氣。
I層:硅烷、氫氣。
N層:硅烷、磷烷、氫氣。
清洗吹掃腔體用氬氣、三氟化氮、氫氣等。
破空吹掃:氮氣。
真空工藝氣體:氫氣。
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