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關(guān)于光伏太陽(yáng)能電池部PECVD工序,如何才能有效控制本道返工片,注意哪些細(xì)節(jié)方面

來(lái)源:新能源網(wǎng)
時(shí)間:2024-08-17 13:46:30
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關(guān)于光伏太陽(yáng)能電池部PECVD工序,如何才能有效控制本道返工片,注意哪些細(xì)節(jié)方面【專家解說(shuō)】:注意片子的亮暗,和一洗有關(guān)。注意恒溫時(shí)間。注意淀積時(shí)間和壓力。注意設(shè)定溫度。注意補(bǔ)償溫

【專家解說(shuō)】:

注意片子的亮暗,和一洗有關(guān)。

注意恒溫時(shí)間。

注意淀積時(shí)間和壓力。

注意設(shè)定溫度。

注意補(bǔ)償溫度也就是 PB值